主(zhu)動(dong)隔振(zhen)平(ping)臺(tai)設(she)計用於承(cheng)載所有商業掃(sao)描(miao)電子(zi)顯微(wei)鏡(SEMs)、多數聚焦(jiao)離(li)子束(shu)顯微(wei)鏡(FIB)及(ji)小型雙(shuang)光(guang)束(shu)設(she)備。SEM-Base VI可(ke)以提供升級(ji)版的(de)振(zhen)動(dong)隔離(li)性(xing)能(neng)及更(geng)快更強勁的(de)控制(zhi)器,帶(dai)有高級(ji)圖(tu)形用戶界(jie)面(mian)(GUI)。SEM-Base VI讓(rang)越(yue)來(lai)越(yue)多的(de)實驗室(shi)、工廠可(ke)以實現(xian)能(neng)夠(gou)滿(man)足(zu)其關(guan)鍵設(she)備所(suo)要(yao)求(qiu)的(de)地(di)面(mian)振(zhen)動(dong)水平(ping)。
主(zhu)動(dong)隔振(zhen)平(ping)臺(tai)采(cai)用*串(chuan)聯(lian)結(jie)構,振(zhen)動(dong)傳感器測量(liang)的(de)是地(di)面(mian)振(zhen)動(dong),不(bu)是負(fu)載振(zhen)動(dong)。這(zhe)樣(yang)就確(que)保(bao)了(le)負(fu)載諧振(zhen)將(jiang)不(bu)會(hui)限(xian)制(zhi)平臺(tai)的(de)振(zhen)動(dong)隔離(li)或者(zhe)引起(qi)不(bu)穩定(ding)性(xing)。振(zhen)動(dong)傳感器采(cai)用低頻(pin)慣性(xing)速(su)度傳感器,在測量(liang)亞Hz振(zhen)動(dong)時(shi)具有大的(de)敏感(gan)度。加上(shang)TMC*的(de)壓電致(zhi)動(dong)技(ji)術(shu),SEM-Base VI即使(shi)在振(zhen)動(dong)情(qing)況(kuang)已經很(hen)好(hao)的(de)地(di)面(mian)上(shang)也可(ke)以實現(xian)超(chao)高水平(ping)的(de)振(zhen)動(dong)消除(chu)。
相比(bi)於(yu)之前的(de)SEM-Base版本,SEM-Base VI的(de)振(zhen)動(dong)隔離(li)能(neng)力(li)平均(jun)來(lai)說增(zeng)加了(le)6dB,而(er)且采用了(le)TMC新(xin)壹(yi)代(dai)控(kong)制(zhi)器DC-2020,采(cai)用新式雙(shuang)核(he)處理(li)器,為(wei)設(she)備擁(yong)有者及(ji)研(yan)究者提供非常(chang)簡(jian)單(dan)易(yi)於使(shi)用的(de)圖(tu)形用戶界(jie)面(mian),可(ke)以快速(su)進入系統並(bing)實(shi)現(xian)平和的(de)操作(zuo)心態。當通(tong)過(guo)Ethernet連(lian)接(jie)時(shi),DC-2020在用戶的(de)瀏(liu)覽器上(shang)即可(ke)實現SEM-Base圖(tu)形用戶界(jie)面(mian),無(wu)需(xu)額(e)外(wai)安(an)裝軟(ruan)件(jian)或者(zhe)應用程序(xu)。當然用戶也(ye)可(ke)以通(tong)過(guo)控(kong)制(zhi)器的(de)板載式菜單(dan)驅(qu)動(dong)液(ye)晶屏(LCD)直(zhi)接進(jin)行(xing)控(kong)制(zhi)。
1、主(zhu)動(dong)慣性(xing)振(zhen)動(dong)消除(chu):采用高靈(ling)敏度的(de)低頻(pin)慣性(xing)速(su)度傳感器,即使(shi)在安靜的(de)地(di)面(mian)上(shang)也可(ke)以達到(dao)高(gao)水平(ping)的(de)振(zhen)動(dong)衰(shuai)減。
2、硬(ying)式裝載技術(shu):兼容 SEM 內部預裝的(de)任何(he)隔振(zhen)系統, 從(cong) 0.6Hz 開始主(zhu)動(dong)強力(li)消減地(di)面(mian)低(di)頻(pin)振(zhen)動(dong)。
3、*集成(cheng)式的(de)單(dan)平(ping)臺設(she)計:設(she)計與制(zhi)造的(de)集成(cheng)化(hua),將安裝平臺(tai)的(de)工作簡(jian)化(hua)到(dao)了(le),簡(jian)單(dan)的(de)定位(wei)與設(she)置(zhi)之後(hou)即可(ke)正常工作。
4、串(chuan)行(xing)設(she)計與壓電技(ji)術(shu):*串(chuan)行(xing)設(she)計加上(shang)高強度壓電專(zhuan)利技術(shu),SEM-Base VI不(bu)但(dan)達(da)到(dao)了(le)寬(kuan)至0.6Hz-150Hz的(de)主(zhu)動(dong)帶(dai)寬(kuan),更(geng)實現了(le)的(de)慣性(xing)主(zhu)動(dong)振(zhen)動(dong)消除(chu),2Hz以上(shang)的(de)振(zhen)動(dong)衰(shuai)減可(ke)達90%以上(shang)。