【應用(yong)速(su)遞】基於(yu)STACIS®的主(zhu)動壓(ya)電(dian)隔(ge)振(zhen)系統(tong)應(ying)用(yong)案(an)例

• 為(wei)什麽(me)選(xuan)用(yong)主(zhu)動的隔(ge)振(zhen)控(kong)制系統(tong)？

• *的低頻隔(ge)振(zhen)效率(lv)。（具(ju)體效(xiao)率(lv)請(qing)見(jian)紅(hong)藍隔(ge)振(zhen)曲(qu)線(xian)圖(tu)）
• 主(zhu)動“Hard-Mount”架構(gou)提供(gong)了(le)比被(bei)動氣浮(fu)隔(ge)離器快10倍(bei)的穩(wen)定(ding)時(shi)間(jian)。（黑色穩(wen)定(ding)速(su)度(du)曲(qu)線(xian)圖(tu)）
• 避(bi)免(mian)氣浮(fu)系統(tong)重(zhong)力(li)不(bu)穩(wen)定(ding)的風險。
• 可(ke)以(yi)與任何設備自帶(dai)的隔(ge)離系(xi)統(tong)“堆疊串(chuan)聯”。

• 通(tong)常(chang)情況(kuang)下壹(yi)套(tao)STACIS®隔(ge)振(zhen)系統(tong)由(you)3或4個(ge)隔(ge)振(zhen)器加上(shang)數(shu)字控(kong)制器組成：

• 兩(liang)種典型(xing)的配(pei)置(zhi)方式(shi)：

• 安(an)裝(zhuang)在混(hun)凝土地板上(shang)：普(pu)通實驗室(shi)環境， 通(tong)常(chang)可(ke)以(yi)為需(xu)要獲得(de)極(ji)低的系統(tong)高度(du)時(shi)做特殊設計(ji)。
• 安(an)裝(zhuang)在高架地板上(shang)：通(tong)常應用(yong)於(yu)潔(jie)凈室中(zhong)。

• 應(ying)用(yong)案(an)例：

C 附(fu)帶(dai)Lift hood 的STACIS 2100：應用(yong)於(yu)UHV-STM超(chao)高真空(kong)掃(sao)描(miao)隧(sui)道顯微(wei)鏡(jing)

• 配(pei)置(zhi)3-Mount STACIS系統(tong)
• 有效降(jiang)低(di)總(zong)體高度(du)的left-hood設計(ji)