在精密光學實(shi)驗與(yu)高端(duan)制造領(ling)域(yu)，環境振(zhen)動(dong)引(yin)發(fa)的微米級幹(gan)擾足以(yi)導(dao)致實(shi)驗失(shi)敗(bai)或(huo)產(chan)品(pin)精(jing)度(du)下(xia)降(jiang)。青(qing)島(dao)森(sen)泉光電作為(wei)專(zhuan)註於(yu)光電設備(bei)代(dai)理與(yu)系(xi)統集(ji)成的專(zhuan)業服務(wu)商(shang)，引(yin)入的美國TMC光學隔振(zhen)平(ping)臺，憑(ping)借先(xian)進的減(jian)振(zhen)技(ji)術(shu)與(yu)穩定性能(neng)，為(wei)國內高校(xiao)、科研院(yuan)所(suo)及(ji)企(qi)業用(yong)戶提供(gong)了(le)振(zhen)動(dong)控制解(jie)決方(fang)案，成為(wei)推(tui)動(dong)精密(mi)制造與(yu)前沿研究的核心支(zhi)撐設(she)備(bei)。
TMC光學隔振(zhen)平(ping)臺的核心優勢(shi)源於(yu)其(qi)創(chuang)新(xin)的混(hun)合(he)隔振(zhen)技(ji)術(shu)體(ti)系(xi)。該(gai)體(ti)系(xi)巧(qiao)妙融合(he)主(zhu)動(dong)隔振(zhen)與(yu)被(bei)動(dong)隔振(zhen)技(ji)術(shu)，其(qi)中(zhong)LaserTable-Base?系(xi)列采(cai)用(yong)TMC專(zhuan)利的STACIS?壓(ya)電技術(shu)與(yu)Micro-g?氣動(dong)技術(shu)串(chuan)聯結(jie)構，成(cheng)功突破(po)傳(chuan)統氣動(dong)隔振(zhen)系(xi)統在1-3Hz低頻段的共振(zhen)放(fang)大(da)難(nan)題。通過(guo)壓(ya)電執(zhi)行(xing)器與(yu)慣性振(zhen)動(dong)傳感(gan)器的實時聯動(dong)，可主(zhu)動(dong)消除(chu)亞(ya)赫茲(zi)至高(gao)頻的全頻段振(zhen)動(dong)，在2Hz以(yi)上頻段實(shi)現(xian)90%以(yi)上的振(zhen)動(dong)衰減(jian)，將地(di)面(mian)振(zhen)動(dong)水(shui)平(ping)從VC-E級降(jiang)至VC-G級以(yi)下(xia)，滿足超精密(mi)實驗的嚴苛(ke)要(yao)求(qiu)。
平(ping)臺的結(jie)構設(she)計(ji)同(tong)樣(yang)彰(zhang)顯技(ji)術匠(jiang)心。臺面采(cai)用(yong)剛性(xing)蜂窩(wo)芯(xin)與不銹鋼(gang)面(mian)板的復合(he)結(jie)構，通(tong)過(guo)無(wu)膠焊接(jie)工(gong)藝確(que)保(bao)高剛度(du)的同(tong)時，利用(yong)粘(zhan)彈(dan)性(xing)阻尼(ni)材料(liao)高效(xiao)耗散(san)振(zhen)動(dong)能量(liang)，固有(you)頻率可達(da)100Hz以(yi)上。針對特(te)殊場景(jing)需(xu)求(qiu)，平(ping)臺支持高度(du)、承(cheng)重(zhong)及(ji)外形(xing)的定制化設計(ji)，可靈活(huo)適(shi)配(pei)"L"形(xing)臺面等(deng)特(te)殊安(an)裝(zhuang)需(xu)求(qiu)，甚(shen)至能(neng)為(wei)掃(sao)描電子顯(xian)微鏡(SEM)等(deng)大型設備(bei)量(liang)身打造專(zhuan)用(yong)方(fang)案，如SEM-BaseVI型號(hao)專(zhuan)為(wei)商(shang)業(ye)SEM和(he)聚(ju)焦(jiao)離子束顯微鏡設計，負(fu)載能力(li)覆蓋(gai)408-1134kg，兼容(rong)設備(bei)內置隔振(zhen)系(xi)統。
智(zhi)能(neng)控制與便捷(jie)操作的深度(du)融(rong)合(he)是TMC平(ping)臺的另壹(yi)大(da)亮(liang)點(dian)。全(quan)系標配(pei)的DC-2020數字控制器搭載雙(shuang)核處(chu)理(li)器(qi)，通過(guo)以(yi)太網與(yu)USB接口(kou)實(shi)現(xian)快速連接(jie)，用(yong)戶可通過(guo)瀏覽(lan)器(qi)直接訪(fang)問圖(tu)形化操作界面，無(wu)需(xu)額外安(an)裝(zhuang)軟(ruan)件。控制器具備(bei)6個(ge)主(zhu)動(dong)自(zi)由度(du)的實時監(jian)測(ce)與(yu)調(tiao)控能力(li)，1Hz時即可實現(xian)40%-70%的振(zhen)動(dong)隔離，配(pei)合(he)高靈(ling)敏(min)度(du)低(di)頻慣性速度(du)傳(chuan)感(gan)器，即使(shi)在低噪(zao)聲(sheng)環(huan)境下(xia)也(ye)能(neng)保持亞(ya)納米級的穩定精度(du)，內(nei)部本(ben)底噪(zao)聲(sheng)可控制在0.1nmRMS以(yi)下(xia)。
在應(ying)用(yong)場景(jing)的適配(pei)性(xing)上，TMC光學隔振(zhen)平(ping)臺展(zhan)現(xian)出強(qiang)的通用(yong)性。在科研領(ling)域(yu)，它為(wei)冷(leng)原(yuan)子實驗(yan)、光學晶(jing)格研究提(ti)供(gong)穩(wen)定支撐；在工業制造中(zhong)，保障半(ban)導(dao)體(ti)晶(jing)圓(yuan)檢(jian)測(ce)、精(jing)密(mi)光學裝(zhuang)配(pei)的精度(du)；在醫療領(ling)域(yu)，滿足原(yuan)子(zi)力(li)顯微鏡(AFM)、超分(fen)辨顯微鏡(STED)的振(zhen)動(dong)控制需(xu)求(qiu)。此(ci)外，超凈(jing)間(jian)專(zhuan)用(yong)型號(hao)采(cai)用(yong)無(wu)框設計，有(you)效避(bi)免灰(hui)塵積累，適配(pei)百(bai)級潔凈(jing)室(shi)環境。
青島森(sen)泉光電依托遍(bian)布全國的服務(wu)網(wang)絡(luo)，為(wei)TMC光學隔振(zhen)平(ping)臺用(yong)戶提供(gong)從方(fang)案設計、安(an)裝(zhuang)調(tiao)試(shi)到(dao)售後維護的全流(liu)程(cheng)支持。作為(wei)專(zhuan)業的光電設備(bei)服(fu)務(wu)商(shang)，森(sen)泉光電將持續(xu)引(yin)入國際前(qian)沿(yan)技術，通(tong)過(guo)TMC光學隔振(zhen)平(ping)臺的技術優勢(shi)，助力(li)國內精密(mi)制造與(yu)科研領(ling)域(yu)突破(po)振(zhen)動(dong)瓶頸，為(wei)高(gao)端(duan)科技(ji)成果(guo)的落地提(ti)供(gong)堅實保(bao)障。
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更新時間：2025-10-24
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