從(cong)原(yuan)理(li)到實(shi)踐(jian)：TMC 被(bei)動(dong)隔振(zhen)產品(pin)介紹

從(cong)原(yuan)理(li)到實(shi)踐(jian)：TMC 被(bei)動(dong)隔振(zhen)產品(pin)介紹

在(zai)前三篇(pian)內容(rong)中，我(wo)們(men)逐步揭(jie)開(kai)了振動與隔振(zhen)的“面紗"：先認(ren)識(shi)到振(zhen)動(dong)是精(jing)密(mi)設(she)備(bei)的(de)“隱(yin)形(xing)殺手(shou)"，再(zai)通過VC曲(qu)線掌(zhang)握(wo)了環(huan)境(jing)振(zhen)動的“體(ti)檢(jian)"方法，最(zui)後深(shen)入(ru)拆解(jie)了被(bei)動(dong)隔振(zhen)的原理(li)與關(guan)鍵參數。理(li)論的(de)價(jia)值(zhi)終究要(yao)落(luo)地於(yu)實(shi)踐(jian)，今天我們(men)就(jiu)聚焦TMC的(de)核(he)心(xin)被(bei)動(dong)隔振(zhen)產品(pin)，看看這(zhe)些“振動過濾(lv)器"如(ru)何(he)將隔振(zhen)原理(li)轉化為實(shi)實在(zai)在的穩(wen)定(ding)，為不(bu)同場(chang)景(jing)下(xia)的(de)精(jing)密(mi)設(she)備(bei)保駕護航。

基於(yu)"低(di)固(gu)有(you)頻(pin)率(lv)+精(jing)準阻尼控制"這壹(yi)被(bei)動(dong)隔振(zhen)的核心(xin)設(she)計(ji)邏(luo)輯(ji)，TMC針(zhen)對性(xing)地研(yan)發了多種阻尼等(deng)級的氣浮(fu)隔振(zhen)器，分別應(ying)對半導(dao)體(ti)、光學、生(sheng)命科(ke)學等(deng)高精(jing)密(mi)領域的不(bu)同(tong)隔振(zhen)需(xu)求。無(wu)論是(shi)納米(mi)級的光刻(ke)工(gong)藝，還是(shi)微(wei)米(mi)級的細(xi)胞觀(guan)測(ce)，亦或(huo)是原(yuan)子級的表面分析(xi)，TMC都能(neng)提(ti)供量(liang)身定(ding)制的隔振(zhen)解決方案。

1、Gimbal Piston氣浮(fu)隔振(zhen)器-高(gao)性(xing)能隔振(zhen)優選

核(he)心(xin)技(ji)術：雙氣室(shi)低剛(gang)度(du)空(kong)氣彈(dan)簧 + 精(jing)密(mi)阻尼孔(kong)設(she)計(ji)

下(xia)圖(tu)展(zhan)示(shi)了(le) TMC 公司(si)的(de)Gimbal Piston 隔離器的(de)剖(pou)視(shi)圖(tu)。采用(yong)雙(shuang)氣室(shi)設(she)計(ji)，兩(liang)氣室(shi)之(zhi)間(jian)通過精(jing)密(mi)小孔(kong)相連(lian)。當(dang)活(huo)塞上(shang)下(xia)運(yun)動時(shi)，空(kong)氣流經小孔(kong)產生(sheng)阻尼力(li)，實(shi)現(xian)大(da)位(wei)移強阻尼、小(xiao)位(wei)移弱(ruo)阻尼的(de)智能(neng)調(tiao)節，既保障了快(kuai)速(su)穩(wen)定(ding)，又(you)不影響對小振(zhen)幅(fu)振動(dong)的(de)隔離效(xiao)果(guo)。此類(lei)隔振(zhen)器在(zai)大(da)約幾(ji)毫米(mi)位(wei)移量級時(shi)，阻尼因(yin)子 Q ≈ 3。

TMC的(de)標(biao)準氣浮(fu)平(ping)臺(tai)均用(yong)Gimbal Piston®氣浮(fu)隔振(zhen)器作(zuo)為標(biao)準配(pei)置。在(zai)並排(pai)測(ce)試(shi)中，Gimbal Piston的(de)性(xing)能壹(yi)直(zhi)優(you)於(yu)其(qi)他(ta)氣浮(fu)隔振(zhen)器。它(ta)在(zai)所有(you)軸上(shang)都有(you)出(chu)色(se)的(de)低(di)頻(pin)隔振(zhen)性(xing)能，即使在(zai)極(ji)低(di)的輸(shu)入(ru)激勵水(shui)平(ping)下(xia)也能保持其(qi)性(xing)能規格(ge)。專有的(de)減振技(ji)術使(shi)Gimbal Piston能(neng)夠穩(wen)定(ding)上(shang)重(zhong)下(xia)輕的有效(xiao)載荷，並能迅速(su)消除隔振(zhen)臺面的幹(gan)擾(rao)。

它具(ju)有輕微(wei)的阻尼特性(xing)，對典(dian)型的(de)低振(zhen)幅(fu)環境(jing)地面(mian)振動具有(you)高響應(ying)性(xing)，而對於(yu)嚴(yan)重(zhong)的(de)瞬(shun)態(tai)幹(gan)擾(rao)（例(li)如突(tu)然(ran)的(de)負載變化或(huo)頂板(ban)撞擊），它可實現(xian)非(fei)常好(hao)的(de)減振(zhen)效(xiao)果(guo)。結(jie)果(guo)表明，Gimbal Piston隔振(zhen)器可(ke)提(ti)供隔振(zhen)效(xiao)果(guo)，幾(ji)乎(hu)可以(yi)在(zai)幾(ji)秒(miao)鐘內消除任(ren)何嚴(yan)重(zhong)幹(gan)擾(rao)。它還(hai)可以穩(wen)定(ding)具(ju)有相(xiang)對較高(gao)重(zhong)心(xin)的(de)隔振(zhen)系統(tong)，而不(bu)會影響隔振(zhen)效(xiao)果(guo)。

優點(dian)：

從(cong)2 Hz開(kai)始的垂直(zhi)和水(shui)平(ping)隔振(zhen)

在10 Hz時(shi)振(zhen)動(dong)衰(shuai)減(jian)95％以上(shang)

幾(ji)乎(hu)無(wu)摩(mo)擦(ca)，避(bi)免(mian)了(le)滾動(dong)摩(mo)擦(ca)向靜摩(mo)擦(ca)過渡(du)

通過充(chong)當(dang)萬(wan)向節來調(tiao)整水(shui)平(ping)位(wei)移

 2. MaxDamp 高阻尼隔振(zhen)器：共(gong)振(zhen)與擾(rao)動的(de)“雙重(zhong)守(shou)護"

TMC 的 MaxDamp 隔離器采(cai)用(yong)不(bu)同的方法：多(duo)軸粘性(xing)流體(ti)阻尼。該(gai)隔離器使(shi)用(yong)壹(yi)種極(ji)低(di)放氣、高粘(zhan)度(du)的合成油(you)，這(zhe)種油(you)被(bei)密(mi)封在隔離器的(de)單(dan)壹氣室(shi)內。特殊(shu)的幾(ji)何結(jie)構(gou)確(que)保隔離器能(neng)夠(gou)以相(xiang)同的效(xiao)率(lv)阻尼垂(chui)直和水(shui)平(ping)運(yun)動(dong)（在(zai) X 和 Y 兩(liang)個(ge)方向上(shang)）。這(zhe)些隔離器可(ke)以(yi)將阻尼擴展(zhan)到接(jie)近(jin)臨界(jie)水(shui)平(ping)，以(yi)滿足(zu)那些需(xu)要(yao)此特性(xing)的應(ying)用(yong)。MaxDamp 隔離器允(yun)許(xu)工作(zuo)臺(tai)運(yun)動(dong)後有效(xiao)載荷能夠非(fei)常快(kuai)速(su)地穩(wen)定(ding)下(xia)來(lai)，同時(shi)仍(reng)能(neng)提(ti)供顯(xian)著的(de)振動隔離效(xiao)果(guo)。通過“高(gao)阻尼設(she)計(ji)"，在共(gong)振(zhen)抑(yi)制與隔振(zhen)效(xiao)率(lv)之(zhi)間(jian)找(zhao)到了(le)完mei平(ping)衡(heng)。適用(yong)於(yu)需(xu)要(yao)快(kuai)速(su)穩(wen)定(ding)有(you)效(xiao)載荷的高力(li)、高(gao)速(su)XY電(dian)動(dong)工作(zuo)臺(tai)的(de)有(you)效(xiao)載荷。比如半導(dao)體(ti)檢(jian)測(ce)、光刻(ke)機(ji)以及其(qi)他(ta)具有相對較高(gao)力(li)的(de)電(dian)動(dong)工作(zuo)臺(tai)的(de)儀(yi)器。

優(you)點(dian)：

更快的穩(wen)定(ding)時(shi)間(jian)

LCD和半導(dao)體(ti)制造和檢(jian)測(ce)工具(ju)的生(sheng)產率(lv)更快、產量(liang)更高

隔振(zhen)表面“更硬(ying)"，手感(gan)更穩(wen)，同(tong)時(shi)保持高隔振(zhen)性(xing)能

有(you)效(xiao)抑(yi)制氣流、噪聲及“機(ji)上(shang)"力(li)引(yin)發(fa)的(de)振(zhen)動(dong)

更好的穩(wen)定(ding)性(xing)和更高的承(cheng)載(zai)能(neng)力(li)

模塊(kuai)化設(she)計(ji)，可以升(sheng)級為Electro-Damp主(zhu)動隔振(zhen)

3.UltraDamp 超(chao)高阻尼氣浮(fu)隔振(zhen)器

TMC 還(hai)推出(chu)阻尼更強的 UltraDamp 氣浮(fu)隔振(zhen)器，適用(yong)於(yu)高(gao)力(li)、高(gao)速(su)XY電(dian)動(dong)工作(zuo)臺(tai)等(deng)高(gao)動(dong)態(tai)負載場(chang)景(jing)。阻尼水(shui)平(ping)確(que)保共(gong)振(zhen)放大不超(chao)過 3–5 dB，廣(guang)泛用(yong)於(yu)LCD、PVC檢(jian)測(ce)、光刻(ke)機(ji)等設(she)備(bei)

優(you)點(dian)：

結(jie)合(he)了(le)自(zi)調(tiao)平(ping)Gimbal Piston™空(kong)氣隔振(zhen)器的(de)優(you)勢，並(bing)具有極(ji)其(qi)主(zhu)動的阻尼作(zuo)用(yong)

非(fei)常適合(he)具(ju)有機(ji)器人運動或(huo)電(dian)動(dong)工作(zuo)臺(tai)的(de)有(you)效(xiao)載荷，可提(ti)供所(suo)需(xu)的(de)隔振(zhen)並主動穩(wen)定(ding)有(you)效(xiao)負載引(yin)起的(de)運(yun)動(dong)

更快的工(gong)具(ju)吞(tun)吐量(liang)和更高的產(chan)量(liang)

從(cong)4-5 Hz開(kai)始的水(shui)平(ping)和垂直(zhi)隔振(zhen)

共(gong)振(zhen)的最(zui)小(xiao)放(fang)大(da)（3-5 dB） 模塊(kuai)化設(she)計(ji)。可升(sheng)級到Electro-Damp主(zhu)動(dong)消振

性(xing)能對比：GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™三款(kuan)隔振(zhen)器的(de)隔振(zhen)效(xiao)率(lv)和阻尼水(shui)平(ping)對比：

以(yi)上(shang)是(shi)TMC三種阻尼級別的(de)氣浮(fu)隔振(zhen)器，根(gen)據(ju)應用(yong)領(ling)域的不同(tong)，TMC提(ti)供多(duo)種規格(ge)的(de)氣浮(fu)隔振(zhen)器供(gong)您(nin)選擇(ze)。

1.       Micro-g系(xi)列(lie)連(lian)桿支撐系(xi)統(tong)

Micro-g支撐系(xi)統(tong)適用(yong)於(yu)大(da)部分光學平(ping)臺(tai)和面包(bao)板，可(ke)提(ti)供多(duo)種配(pei)置選項(xiang)，包(bao)括高(gao)度(du)、負載、隔振(zhen)性(xing)能等(deng)。

l                      理(li)想搭配(pei)CleanTop光學平(ping)臺(tai)和面包(bao)板

l                      4柱(zhu)/6柱(zhu)系(xi)統(tong)可選

l                      可(ke)互(hu)換模塊(kuai)化隔振(zhen)設(she)計(ji)，支持(chi)三種阻尼級別靈(ling)活升(sheng)級

l                      載重(zhong)能(neng)力(li) - 根(gen)據(ju)您(nin)工作(zuo)臺(tai)和機(ji)載設(she)備(bei)的(de)重(zhong)量(liang)，可(ke)以(yi)選擇(ze)載(zai)重(zhong)能(neng)力(li)為1,400、4,000、6,000、10,000或(huo)15,000磅（分別為600、2,000、3,000、4,500或(huo)7,000千(qian)克）的(de)支撐系(xi)統(tong)。定(ding)制系統(tong)可以(yi)從(cong)標(biao)準組(zu)件進(jin)           行配(pei)置，以(yi)支撐幾(ji)乎(hu)任何(he)結(jie)構(gou)。

l                      多(duo)種標(biao)準高(gao)度(du)可選，支持(chi)定(ding)制 - 七個(ge)標(biao)準高(gao)度(du)：12、16、18、22、24、28和32英(ying)寸(cun)（分別為305、406、457、559、610、711和13毫米(mi)） - 從(cong)地面(mian)到臺(tai)面(mian)的人體(ti)工程學距離為36英(ying)寸(cun)（900毫(hao)米(mi)）。

l                      可(ke)選腳輪(lun)-腳輪(lun) - TMC的可(ke)選腳輪(lun)采用(yong)堅(jian)固耐用(yong)的(de)重(zhong)型設(she)計(ji)，可輕松移動安裝好的工作(zuo)臺(tai)。工(gong)作(zuo)臺(tai)定(ding)位(wei)後，腳輪(lun)縮回以(yi)在(zai)設(she)備(bei)操(cao)作(zuo)期(qi)間(jian)與地面(mian)牢固接(jie)觸。與其(qi)他(ta)Micro-g功能壹樣(yang)，它們(men)可(ke)以(yi)在壹開(kai)始(shi)時(shi)就(jiu)集成(cheng)在設(she)備(bei)中，或(huo)者如(ru)果(guo)您(nin)選擇(ze)升(sheng)級，也可在(zai)稍(shao)後購(gou)買(mai)。腳輪(lun)在最(zui)小(xiao)承(cheng)重(zhong)能(neng)力(li)的(de)支柱(zhu)上(shang)從(cong)外(wai)部縮回，在(zai)中等(deng)承(cheng)重(zhong)能(neng)力(li)的(de)支柱(zhu)上(shang)從(cong)內(nei)部縮回，而(er)最(zui)高(gao)承(cheng)重(zhong)能(neng)力(li)的(de)支柱(zhu)無(wu)腳輪(lun)。高度(du)不到18英(ying)寸(cun)的(de)支柱(zhu)無(wu)腳輪(lun)。

2.       Micro-g系列(lie)獨(du)立(li)支腿(tui)

l                      不搭配(pei)橫(heng)梁(liang)而獨立(li)安裝，定(ding)位(wei)更靈(ling)活

l                      負載能(neng)力(li)可(ke)選500kg和1000kg，承重(zhong)能(neng)力(li)更強

l                      隔振(zhen)模塊(kuai)化，三種阻尼級別可(ke)選

l                      標(biao)配(pei)超(chao)大尺(chi)寸(cun)鋼(gang)制調(tiao)平(ping)底(di)板

l                      多(duo)種標(biao)準高(gao)度(du)可選（305/406/457/559/610/711/813mm）

l                      與伸縮腳輪(lun)不兼(jian)容

3.       適用(yong)於(yu)設(she)備(bei)內(nei)部的Micro-g氣浮(fu)隔振(zhen)器

62系(xi)列(lie)氣浮(fu)隔振(zhen)器采(cai)用(yong)模塊(kuai)化、可互(hu)換和可升(sheng)級的設(she)計(ji)，是OEM應用(yong)的(de)理(li)想選擇(ze)。

l                      專為OEM應(ying)用(yong)而(er)設(she)計(ji)

l                      支撐90千(qian)克到8,200千(qian)克（200到18,000磅）範圍(wei)內的(de)有效(xiao)載荷

l                      即使在(zai)安靜的(de)環境(jing)中也能提(ti)供高(gao)水(shui)平(ping)的(de)振(zhen)動(dong)衰減性(xing)能

l                      多(duo)級阻尼可(ke)供選擇(ze)

l                      多(duo)個版本(ben)的(de)高(gao)度(du)控制

l                      隔振(zhen)器設(she)計(ji)可互(hu)換。可輕松適應(ying)需(xu)求的變化，節省重(zhong)新設(she)計(ji)成本(ben)

標(biao)準型號(hao)選購(gou)表：

選擇(ze) TMC：從(cong)本(ben)土(tu)制造到中國(guo)服務(wu)，全(quan)程保駕護航

作(zuo)為美(mei)國本(ben)土(tu)生(sheng)產光學平(ping)臺(tai)與隔振(zhen)器的(de)供(gong)應商，TMC 憑(ping)借(jie)"設(she)計(ji)、研發、制造壹(yi)體(ti)化"的優勢(shi)，能為終(zhong)端用(yong)戶(hu)提(ti)供高(gao)度(du)靈(ling)活的(de)定(ding)制方案。從(cong)基礎(chu)研(yan)究到工(gong)業(ye)生(sheng)產，從(cong)生(sheng)命科(ke)學到半導(dao)體(ti)制造，TMC的(de)產(chan)品(pin)已經在全(quan)球數(shu)以千(qian)計的實(shi)驗室(shi)和工廠(chang)中證明了(le)自(zi)己的價(jia)值(zhi)。

森泉(quan)光電(dian)有(you)限公司(si)作(zuo)為TMC在(zai)中國(guo)的(de)指定(ding)代理(li)商，自(zi)2009年(nian)起(qi)持(chi)續為客(ke)戶提(ti)供可(ke)靠的TMC產(chan)品(pin)與解(jie)決(jue)方案。我們(men)不(bu)僅提(ti)供產(chan)品(pin)，更提(ti)供技(ji)術支持(chi)和完善(shan)的售後服務(wu)，從(cong)現(xian)場振動測(ce)試(shi)到系(xi)統(tong)方案設(she)計(ji)，從(cong)安裝調(tiao)試(shi)到維(wei)護升(sheng)級，我們(men)始(shi)終(zhong)與客(ke)戶(hu)同行，共(gong)同(tong)解決振動(dong)控制的難題。

選擇(ze)TMC，就(jiu)是為您(nin)的精(jing)密(mi)設(she)備(bei)選擇(ze)了(le)壹份寧(ning)靜與穩(wen)定(ding)。讓(rang)我(wo)們(men)幫(bang)您(nin)打造(zao)壹個"零振動幹(gan)擾(rao)"的工(gong)作(zuo)環(huan)境(jing)，為您(nin)的科(ke)研發(fa)現和工藝(yi)突(tu)破(po)保駕護航。

如果(guo)您(nin)正(zheng)在為振(zhen)動問(wen)題困擾(rao)，或(huo)者希(xi)望(wang)進(jin)壹步(bu)提(ti)升(sheng)設(she)備(bei)的(de)穩(wen)定(ding)性(xing)，歡迎隨時(shi)與我(wo)們(men)聯(lian)系(xi)。我(wo)們(men)的(de)技(ji)術團隊(dui)將(jiang)為您(nin)提(ti)供專業的(de)振動分析(xi)和高性(xing)價(jia)比的(de)解(jie)決(jue)方案。

被(bei)動(dong)隔振(zhen)雖(sui)已能(neng)滿足(zu)多數(shu)需(xu)求，但在(zai)超(chao)精(jing)密(mi)制造、納(na)米(mi)級測(ce)量的(de)前沿領域(yu)，我(wo)們(men)需(xu)要(yao)更智能的(de)解(jie)決(jue)方案。下(xia)壹(yi)期，我(wo)們(men)將(jiang)深(shen)入(ru)介紹主(zhu)動隔振(zhen)技術。敬請期待！