在今(jin)天(tian)的(de)現(xian)代(dai)工業(ye)發展中(zhong)，隔(ge)振(zhen)行(xing)業(ye)在(zai)不斷發(fa)展。從(cong)隔振(zhen)定(ding)義(yi)來(lai)說，如果機(ji)械(xie)本身是振(zhen)源(yuan)，應使(shi)它(ta)與(yu)支承隔離(li)，以減少(shao)對周圍的影響，這稱(cheng)為主動隔振(zhen)。如(ru)振(zhen)源(yuan)來(lai)自(zi)支承的運動，為減少(shao)外界(jie)振(zhen)動對機(ji)械(xie)的(de)影響，須使(shi)支承與機(ji)械(xie)隔(ge)離(li)，這稱(cheng)為被動隔振(zhen)。
桌面式(shi)隔(ge)振(zhen)平(ping)臺用(yong)於抵消工(gong)作(zuo)環境對靈(ling)敏度高(gao)的精(jing)密設備(bei)產(chan)生的不必要(yao)振(zhen)動，提(ti)高精(jing)密設備(bei)的(de)性(xing)能(neng)。流線(xian)型(xing)的結構(gou)設計(ji)允(yun)許(xu)它(ta)無(wu)縫(feng)地(di)成為工(gong)作(zuo)站(zhan)環境的壹(yi)部分(fen)，安(an)裝簡(jian)易並(bing)且(qie)不需後續(xu)的調整。
因為在(zai)桌面式(shi)隔(ge)振(zhen)平(ping)臺系(xi)統中，增(zeng)大(da)阻尼可減小(xiao)機(ji)械(xie)在(zai)起動過程(cheng)中經過共振(zhen)區(qu)時(shi)的(de)振(zhen)幅，但在(zai)後(hou)，增(zeng)大(da)阻尼反而(er)減小(xiao)隔(ge)振(zhen)效(xiao)果；由(you)於(yu)壹(yi)般隔(ge)振(zhen)材料阻尼系數(shu)不大(da)，在(zai)λ=2.5~5範(fan)圍(wei)內計算(suan)隔(ge)振(zhen)系(xi)數(shu)時(shi)，可(ke)按(an)無(wu)阻尼情況考慮(lv)。具(ju)體(ti)的(de)隔(ge)振(zhen)措(cuo)施(shi)有設置(zhi)彈性(xing)支撐物(wu)和(he)防振(zhen)溝(gou)等。對(dui)於(yu)隔振(zhen)效(xiao)果要(yao)求很(hen)高的(de)精(jing)密儀器(qi)，壹(yi)般采用(yong)多層(ceng)隔板(ban)；對(dui)於(yu)多向激(ji)勵(li)、多種響應的復雜隔振(zhen)系(xi)統，則要(yao)考慮(lv)直線(xian)振(zhen)動、扭轉(zhuan)振(zhen)動和(he)它(ta)們之間的耦(ou)合(he)，隔(ge)振(zhen)系(xi)數(shu)須按(an)多自由(you)度(du)模(mo)型(xing)進(jin)行計算(suan)。
當(dang)頻率比(bi)λ變(bian)化(hua)較大(da)時(shi)，如(ru)寬頻帶激(ji)勵(li)和(he)重量變(bian)化(hua)大(da)的(de)機(ji)械(xie)，采用(yong)非(fei)線性(xing)隔(ge)振(zhen)系(xi)統可以收(shou)到較好的(de)隔振(zhen)效(xiao)果。在(zai)隔(ge)振(zhen)設(she)計(ji)中(zhong)，根據振(zhen)源(yuan)振(zhen)動量的大(da)小(xiao)、方(fang)向和(he)頻率，以及(ji)被隔振(zhen)機(ji)械(xie)的(de)尺(chi)寸(cun)、重量和(he)隔振(zhen)要(yao)求，確(que)定隔(ge)振(zhen)裝(zhuang)置(zhi)的(de)參(can)數(shu)和(he)結構(gou)型式(shi)。
現(xian)在(zai)桌面式(shi)隔(ge)振(zhen)平(ping)臺在(zai)*地(di)面振(zhen)動控(kong)制方面的(de)新突破，采用(yong)串(chuan)聯式(shi)主動系統結構(gou)的臺式(shi)振(zhen)動消除系(xi)統，再加(jia)上(shang)用(yong)於提(ti)升亞(ya)赫(he)茲(zi)靈(ling)敏度的(de)速度(du)傳(chuan)感器(qi)，可(ke)以使(shi)低(di)頻振(zhen)動得到大(da)幅衰(shuai)減。
主動隔振(zhen)平(ping)臺被設計(ji)用(yong)來(lai)使(shi)超(chao)精(jing)密儀器(qi)設(she)備(bei)可以隔離(li)來(lai)自(zi)於(yu)建(jian)築地(di)面的(de)振(zhen)動，可隔離(li)的(de)頻率低(di)於(yu)1Hz。該系統可理(li)想應用於(yu)光(guang)學顯微鏡、掃(sao)描探針顯微鏡（SPM）及(ji)計量儀器(qi)。具(ju)有主動隔振(zhen)系(xi)統設計(ji)，可以輕松(song)選(xuan)擇(ze)並(bing)設(she)置三(san)個(ge)增(zeng)益(yi)中的壹(yi)個以獲(huo)得適(shi)合(he)當(dang)前(qian)環(huan)境的性(xing)能(neng)。
隨(sui)著(zhe)壓電(dian)振(zhen)動消除技(ji)術的(de)進(jin)步(bu)，桌面式(shi)隔(ge)振(zhen)平(ping)臺可(ke)以從0.7Hz開(kai)始隔離(li)振(zhen)動。專門(men)設計(ji)用於獲(huo)得zui大(da)低(di)頻性(xing)能(neng)，對(dui)於(yu)1-10Hz範(fan)圍(wei)的隔振(zhen)效(xiao)果很(hen)好，而(er)精(jing)密儀器(qi)設(she)備(bei)對於1-10Hz的(de)振(zhen)動是較為敏感的(de)。
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更(geng)新時間：2020-01-07
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