什麽(me)時候(hou)使(shi)用主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統(tong)？哪(na)種(zhong)方(fang)法更適(shi)合您(nin)的(de)應(ying)用程(cheng)序？（第(di)壹部(bu)分(fen)）

什麽(me)時候(hou)使(shi)用主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統(tong)？哪(na)種(zhong)方(fang)法更適(shi)合您(nin)的(de)應(ying)用程(cheng)序？（第(di)壹部(bu)分(fen)）

主(zhu)動(dong)系(xi)統(tong)隔(ge)振

        本章節將幫(bang)助(zhu)工程(cheng)師(shi)和(he)科學(xue)家(jia)對主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統(tong)有壹個大(da)致的了(le)解，它(ta)們是(shi)如(ru)何工作(zuo)的(de)，什麽(me)時候(hou)應(ying)該(gai)應(ying)用，以及它(ta)們有什麽(me)限(xian)制(zhi)。由於半(ban)導(dao)體(ti)制(zhi)造(zao)業(ye)在這(zhe)壹(yi)領域出(chu)現(xian)了(le)許多(duo)應(ying)用，因此(ci)得(de)到了特(te)別(bie)的關註(zhu)。

5.1 歷(li)史(shi)

        反饋控(kong)制系(xi)統(tong)已(yi)經(jing)存在(zai)了(le)幾百(bai)年，但是(shi)在(zai)20世紀(ji)有了最大(da)的發(fa)展。在(zai)第(di)二(er)次(ci)世界大戰期間(jian)，這(zhe)項(xiang)技(ji)術被(bei)用於(yu)防禦(yu)系(xi)統(tong)，取(qu)得(de)了(le)非常(chang)迅(xun)速的進展。這(zhe)些(xie)發(fa)展還(hai)在(zai)繼(ji)續(xu)，甚至(zhi)在(zai)今天，大多數關於控(kong)制系(xi)統(tong)的(de)文(wen)本都以戰鬥機控(kong)制和(he)倒(dao)彈(dan)制(zhi)導(dao)系(xi)統(tong)為例(li)。

        主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統(tong)是(shi)用於(yu)國(guo)防的(de)機電(dian)控(kong)制系(xi)統(tong)的(de)擴展。早(zao)在(zai)20世紀(ji)50年代(dai)，主(zhu)動(dong)消(xiao)振系(xi)統(tong)就(jiu)被(bei)開發用於(yu)直(zhi)升機座(zuo)椅等(deng)應(ying)用。因此(ci)，主(zhu)動(dong)控(kong)制系(xi)統(tong)專門(men)用於(yu)振動(dong)控(kong)制已(yi)經存在(zai)了(le)60多年。在精密振動(dong)控(kong)制行業(ye)，主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統(tong)已(yi)經(jing)有近20年的歷(li)史(shi)。它(ta)們之所(suo)以遲遲沒(mei)有得到廣泛應(ying)用，原(yuan)因有很多。

        主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統(tong)相(xiang)對(dui)比被(bei)動(dong)隔(ge)振系(xi)統(tong)更復雜，成本也(ye)更高(gao)。然而，主(zhu)動(dong)系(xi)統(tong)可以提(ti)供(gong)純(chun)被(bei)動(dong)系(xi)統(tong)無(wu)法提(ti)供(gong)的(de)功(gong)能(neng)。

        近年來，有兩(liang)件事重(zhong)新引(yin)起(qi)了人(ren)們對主(zhu)動(dong)振動(dong)控(kong)制系(xi)統(tong)的(de)興趣(qu)。首(shou)先是(shi)半(ban)導(dao)體(ti)行業(ye)的快(kuai)速(su)發(fa)展，其次是(shi)生產(chan)更多(duo)、更快(kuai)、成本更低的(de)半(ban)導(dao)體(ti)的(de)願望(wang)。光(guang)刻和(he)檢(jian)測(ce)過(guo)程(cheng)通常(chang)包(bao)括(kuo)將矽片放置(zhi)在(zai)壹(yi)個沈(chen)重(zhong)和(he)/或快(kuai)速(su)移(yi)動(dong)的(de)平臺上(shang)，從(cong)而相對(dui)於關鍵(jian)的光(guang)學(xue)（或其他）元(yuan)件(jian)來定位矽片。當這(zhe)些(xie)階(jie)段(duan)在(zai)晶圓片上(shang)從(cong)壹個位置掃描(miao)到另(ling)壹(yi)個(ge)位置時(shi)，它(ta)們會導(dao)致整個儀器在(zai)隔(ge)振系(xi)統(tong)上(shang)“彈(dan)跳(tiao)”。盡管(guan)在這(zhe)樣(yang)的移(yi)動(dong)之(zhi)後，儀器的(de)運(yun)動(dong)可能(neng)很小(xiao)（幾毫米(mi)），但儀(yi)器的(de)分(fen)辨(bian)率正在(zai)接近，在某些(xie)情(qing)況(kuang)下(xia)甚至(zhi)在(zai)1納米(mi)以下(xia)。具(ju)有這(zhe)種(zhong)分(fen)辨(bian)率的儀器不(bu)可避免(mian)地對(dui)最(zui)小(xiao)的(de)振動(dong)級(ji)別(bie)都很敏(min)感(gan)。在(zai)這(zhe)些(xie)情(qing)況(kuang)下(xia)，主(zhu)動(dong)系(xi)統(tong)通過(guo)減(jian)少獨立有效載(zai)荷在這(zhe)種(zhong)階(jie)段(duan)運(yun)動(dong)發(fa)生後的殘余(yu)運(yun)動(dong)來(lai)幫(bang)助(zhu)解決問(wen)題(ti)。

        第二(er)個使(shi)主(zhu)動(dong)系(xi)統(tong)更受(shou)歡迎(ying)的變(bian)化(hua)是(shi)數(shu)字(zi)信(xin)號處理技(ji)術的進步。壹般來(lai)說，基(ji)於(yu)模(mo)擬(ni)電(dian)子學(xue)的(de)有源系(xi)統(tong)會(hui)比基於數(shu)字(zi)的(de)系(xi)統(tong)表現更好(hao)。這(zhe)是(shi)因為高性能(neng)模擬(ni)電(dian)子具(ju)有固有的低噪聲和(he)寬帶寬。（相對(dui)便(bian)宜的運算放(fang)大(da)器可以有30位的等(deng)效分(fen)辨(bian)率和(he)許多(duo)兆(zhao)赫(he)的“采樣(yang)率”。）模擬(ni)電(dian)子產品(pin)也(ye)很便(bian)宜。模擬(ni)系(xi)統(tong)的(de)問(wen)題(ti)是(shi)，它(ta)們必(bi)須(xu)手動(dong)調(tiao)整，不(bu)能(neng)（容(rong)易(yi)）處理非線(xian)性反饋或前(qian)饋應(ying)用（見(jian)5.4.3節）。數(shu)字(zi)控(kong)制器有潛(qian)力(li)自動(dong)調(tiao)整自己和(he)處理非線(xian)性反饋和(he)前(qian)饋算法(fa)。這(zhe)使(shi)得有源系(xi)統(tong)更容(rong)易(yi)用於(yu)OEM應(ying)用程(cheng)序（例(li)如(ru)半(ban)導(dao)體(ti)行業(ye)）。它(ta)們還可以被(bei)編程來(lai)執(zhi)行各種(zhong)任(ren)務，根據(ju)命(ming)令(ling)在(zai)任(ren)務之間自動(dong)切(qie)換，還(hai)可以進行軟件(jian)升級(ji)，無(wu)需舉起(qi)烙鐵(tie)就(jiu)能(neng)“重(zhong)新連(lian)接”反(fan)饋系(xi)統(tong)。為了加深讀者(zhe)對這(zhe)些(xie)系(xi)統(tong)的(de)成本和(he)效(xiao)益的理解，我(wo)們提(ti)供(gong)了(le)伺(si)服(fu)控(kong)制系(xi)統(tong)的(de)術語(yu)和(he)技(ji)術的簡(jian)要介(jie)紹。

5.2 伺(si)服(fu)系(xi)統(tong)和(he)術語(yu)

        盡管(guan)主(zhu)動(dong)系(xi)統(tong)的(de)術語(yu)相當通用，但(dan)也(ye)有壹些(xie)變(bian)體(ti)。下(xia)面的討(tao)論(lun)介紹(shao)了(le)TMC使(shi)用的(de)術語(yu)，應(ying)該(gai)有助(zhu)於您(nin)理解活動(dong)系(xi)統(tong)中涉及(ji)的(de)概(gai)念(nian)。所(suo)有主(zhu)動(dong)控(kong)制系(xi)統(tong)的(de)基(ji)礎如(ru)圖16所(suo)示(shi)。

        它(ta)包含三(san)個(ge)基(ji)本要素(su)：

        1）標(biao)記(ji)為“G”的塊稱(cheng)為裝置，它(ta)代(dai)表在應(ying)用任(ren)何反饋之前(qian)妳的(de)機械(或電(dian)子、液(ye)壓、熱(re)等(deng))系(xi)統(tong)的(de)行為。它(ta)表示(shi)壹(yi)個(ge)傳遞函數(shu)，即塊的輸出(chu)與(yu)輸(shu)入(ru)之比，表示(shi)為頻(pin)率的函數(shu)。這(zhe)個(ge)比率同時有大小和(he)相(xiang)位，可能(neng)是(shi)也(ye)可能(neng)不(bu)是(shi)無(wu)單位的。例(li)如(ru)，它(ta)可以表示(shi)壹(yi)個(ge)振動(dong)傳遞函數(shu)，其中輸入(ru)（左(zuo)邊的(de)線(xian)）表示(shi)地(di)面運動(dong)，輸(shu)出(chu)（右(you)邊(bian)的(de)線(xian)）表示(shi)桌(zhuo)面運動(dong)。

壹(yi)個基本(ben)的(de)反饋回路(lu)由三個(ge)元(yuan)素(su)組(zu)成：裝置、補(bu)償(chang)和(he)總(zong)和(he)結。

        2）在(zai)這(zhe)種(zhong)情(qing)況(kuang)下(xia)，比值是(shi)無(wu)單位的。如(ru)果輸(shu)入(ru)是(shi)壹(yi)個(ge)力(li)，輸(shu)出(chu)是(shi)壹(yi)個(ge)位置，則傳遞函數(shu)的(de)單(dan)位為（m/N）。G的傳遞函數(shu)有壹個特(te)殊的(de)名稱(cheng)：被(bei)控(kong)對象的傳遞函數(shu)。所(suo)有傳遞函數(shu)（G、H、乘(cheng)積(ji)GH等(deng)）都用復數(shu)（實(shi)部(bu)和(he)虛(xu)部(bu)同時(shi)存在(zai)的(de)數）表示(shi)。在(zai)任(ren)意(yi)給定頻(pin)率上(shang)，壹(yi)個復數(shu)表示(shi)復平面上(shang)的(de)壹個向量。矢(shi)量的(de)長度(du)和(he)角(jiao)度(du)表示(shi)傳遞函數(shu)的(de)大(da)小和(he)相(xiang)位。

        3）標記(ji)為“H”的塊稱(cheng)為補償，通常(chang)表示(shi)您(nin)的(de)伺(si)服(fu)。對(dui)於(yu)隔(ge)振系(xi)統(tong)，它(ta)可能(neng)代(dai)表壹個(ge)傳感器的(de)總(zong)傳遞函數(shu)，監測(ce)工廠(chang)的(de)輸出(chu)（加速(su)度計(ji)），壹(yi)些(xie)電(dian)子過濾(lv)器，放(fang)大(da)器，最(zui)後，制動(dong)器產(chan)生壹(yi)個(ge)力(li)作(zuo)用在(zai)有效載(zai)荷。在這(zhe)個(ge)例(li)子中，響(xiang)應(ying)的大小(xiao)、相(xiang)位和(he)單(dan)位為（N/m）。註意(yi)，系(xi)統(tong)的(de)循(xun)環(huan)傳遞函數(shu)，即乘(cheng)積(ji)（GH），必(bi)須(xu)是(shi)無(wu)單位的。在(zai)控(kong)制系(xi)統(tong)的(de)性能(neng)和(he)穩(wen)定性分(fen)析(xi)中，回路(lu)傳遞函數(shu)是(shi)最(zui)重(zhong)要(yao)的(de)量，我(wo)們將在後面討論(lun)。

        4）圓是(shi)壹(yi)個(ge)求和(he)結。它(ta)可以有許多(duo)輸(shu)入(ru)，這(zhe)些(xie)輸(shu)入(ru)全部(bu)加起(qi)來形成壹個(ge)輸出(chu)。所(suo)有的輸入(ru)和(he)輸(shu)出(chu)都(dou)有相同的(de)單位（比如(ru)力(li)）。每個輸入(ru)的旁(pang)邊都打印壹(yi)個(ge)加號或減(jian)號，以表示(shi)是(shi)加還(hai)是(shi)減(jian)。請(qing)註(zhu)意(yi)，H的(de)輸(shu)出(chu)總(zong)是(shi)在(zai)這(zhe)個(ge)結處減(jian)去(qu)，表示(shi)負(fu)反(fan)饋的概(gai)念(nian)。累(lei)加結的(de)輸出(chu)有時被(bei)稱(cheng)為電路中的誤(wu)差(cha)信(xin)號或誤(wu)差(cha)點。

        可以表明，系(xi)統(tong)的(de)閉環(huan)傳遞函數(shu)如(ru)方(fang)程16所示(shi)。這(zhe)也(ye)許是(shi)控(kong)制理論(lun)中最重(zhong)要(yao)的(de)關(guan)系(xi)。分(fen)母(mu)1+GH稱(cheng)為特(te)征方(fang)程，因為其根在復平面的位置決定了(le)系(xi)統(tong)的(de)穩(wen)定性。從這(zhe)個(ge)方(fang)程的形式中，還可以立即看出(chu)其他幾個(ge)性質。

        首(shou)先(xian)，當環(huan)路增(zeng)益（幅度|GH|）遠(yuan)小(xiao)於(yu)1時(shi)，閉環(huan)傳遞函數(shu)僅(jin)為分(fen)子（G），對於(yu)大(da)環(huan)路增(zeng)益（|GH| >> 1），傳遞函數(shu)被(bei)環(huan)路增(zeng)益降低或抑(yi)制(zhi)。因此(ci)，當閉環(huan)增(zeng)益大於單(dan)位增(zeng)益時，伺(si)服(fu)系(xi)統(tong)對(dui)系(xi)統(tong)的(de)影響(xiang)最大(da)。單位增(zeng)益頻(pin)率或單(dan)位增(zeng)益點之間的頻(pin)率跨(kua)度(du)是(shi)伺(si)服(fu)系(xi)統(tong)的(de)主(zhu)動(dong)帶寬。在實(shi)踐中，妳不(bu)允許使(shi)環(huan)路增(zeng)益在統壹(yi)增(zeng)益點之間任(ren)意(yi)高(gao)，仍(reng)然(ran)有壹個穩(wen)定的(de)伺(si)服(fu)。事實(shi)上(shang)，在(zai)單位增(zeng)益頻(pin)率附(fu)近增(zeng)益增(zeng)加的(de)速度是(shi)有限(xian)制(zhi)的(de)。因此(ci)，系(xi)統(tong)的(de)環(huan)路增(zeng)益通常(chang)受(shou)到可用帶寬的限(xian)制(zhi)。

        方(fang)程16的另(ling)壹(yi)個(ge)明顯(xian)結果是(shi)，只(zhi)有當|GH|方(fang)程1的幅值和(he)相(xiang)位接近180度時(shi)，閉環(huan)傳遞函數(shu)才(cai)會變大(da)。當量GH接近這(zhe)壹(yi)點時，其值接近（-1），方(fang)程16的分(fen)母(mu)變(bian)小，閉環(huan)響(xiang)應(ying)變大。在(zai)單(dan)位增(zeng)益頻(pin)率下(xia)，GH與(yu)180度的(de)相位之差(cha)稱(cheng)為相位裕(yu)度。相(xiang)位裕(yu)度越(yue)大，單(dan)位增(zeng)益點處的放(fang)大率越(yue)低。然(ran)而，結果表明，較大(da)的相(xiang)位裕(yu)度也(ye)會降低伺(si)服(fu)器在(zai)其有源帶寬內(nei)的增(zeng)益。因此(ci)，選(xuan)擇相位裕(yu)度是(shi)在(zai)增(zeng)益和(he)穩(wen)定之(zhi)間(jian)的妥協在統(tong)壹增(zeng)益點。相位裕(yu)度小(xiao)於(yu)60度(du)時，總是(shi)會(hui)發(fa)生單(dan)位增(zeng)益的放大(da)。大(da)多(duo)數(shu)伺(si)服(fu)器被(bei)設計(ji)有壹個在(zai)20度和(he)40度(du)之(zhi)間(jian)的(de)相位裕(yu)度。在(zai)伺(si)服(fu)單(dan)位增(zeng)益頻(pin)率的放大(da)出(chu)現(xian)在(zai)系(xi)統(tong)中就像(xiang)新的(de)共(gong)振。

5.3 主(zhu)動(dong)消(xiao)振

        上(shang)壹(yi)節提(ti)供(gong)了(le)關於(yu)伺(si)服(fu)系(xi)統(tong)如(ru)何工作(zuo)的(de)定性描述(shu)，並(bing)介紹了(le)廣(guang)泛的概(gai)念(nian)和(he)術語(yu)。實(shi)際(ji)上(shang)，大(da)多數主(zhu)動(dong)消(xiao)振系(xi)統(tong)比圖16所示(shi)的(de)簡(jian)單圖(tu)要復雜得(de)多(duo)。通常(chang)有3到6個自由度被(bei)控(kong)制：三(san)個平移(yi)運動(dong)（X、Y和(he)Z運(yun)動(dong)）和(he)三(san)個(ge)旋轉運動(dong)（滾(gun)、俯(fu)仰和(he)偏(pian)航）。此(ci)外(wai)，在壹(yi)個系(xi)統(tong)中可能(neng)有許多(duo)類(lei)型(xing)的(de)傳感器，例(li)如(ru)用於(yu)調平系(xi)統(tong)的(de)高(gao)度傳感器和(he)用於(yu)檢測(ce)有效載(zai)荷運動(dong)的(de)加速(su)度計(ji)。這(zhe)些(xie)結合(he)在壹(yi)個系(xi)統(tong)使(shi)用並(bing)行或嵌(qian)套(tao)伺(si)服(fu)回(hui)路(lu)。雖(sui)然這(zhe)些(xie)可以用圖(tu)16所示(shi)的(de)框(kuang)圖表示(shi)，並(bing)使(shi)用相(xiang)同的(de)技(ji)術進行分(fen)析(xi)，但(dan)細(xi)節可能(neng)會變(bian)得非常(chang)復雜。然(ran)而，也(ye)有壹些(xie)普(pu)遍(bian)的(de)規則，特(te)別(bie)適用於(yu)主(zhu)動(dong)減(jian)振伺(si)服(fu)系(xi)統(tong)。

        多(duo)個(ge)傳感器。雖(sui)然(ran)妳可以用加速(su)度計(ji)來(lai)測(ce)量載(zai)荷的慣性運動(dong)，也(ye)可以用位置傳感器來(lai)測(ce)量它(ta)相對於(yu)地(di)球(qiu)的位置，但(dan)妳不(bu)能(neng)在任(ren)何給定的(de)頻(pin)率同時使(shi)用它(ta)們。換句(ju)話(hua)說，位置伺(si)服(fu)的(de)主(zhu)動(dong)帶寬不(bu)能(neng)與加速(su)度計(ji)伺(si)服(fu)的(de)主(zhu)動(dong)帶寬重(zhong)疊(die)。直(zhi)觀(guan)地說，這(zhe)只(zhi)是(shi)說妳不(bu)能(neng)強迫有效載(zai)荷同時跟蹤兩(liang)個獨(du)立的傳感器。這(zhe)有壹些(xie)嚴(yan)重(zhong)的(de)後果。

        將有效載(zai)荷鎖定在(zai)慣性傳感器（加速(su)度計(ji)）上(shang)使(shi)有效載(zai)荷靜音；然而，加速(su)度計(ji)的(de)輸(shu)出(chu)並(bing)沒(mei)有包含任(ren)何關於地(di)球(qiu)位置的(de)信息。同樣(yang)地，將有效載(zai)荷鎖定在(zai)位置傳感器上(shang)將迫使(shi)有效載(zai)荷更緊(jin)密地(di)跟蹤地球——包括(kuo)地球(qiu)的振動(dong)。妳不(bu)可能(neng)讓(rang)壹個有效載(zai)荷既能(neng)緊密(mi)地跟蹤地球又能(neng)有良好的(de)隔振性能(neng)！例(li)如(ru)，如(ru)果妳需要在(zai)1赫(he)茲的振動(dong)隔(ge)離，妳必(bi)須(xu)增(zeng)加伺(si)服(fu)的(de)加速(su)度計(ji)部(bu)分(fen)的(de)增(zeng)益。這(zhe)意(yi)味(wei)著(zhe)相(xiang)對於地球定位有效載(zai)荷的伺(si)服(fu)系(xi)統(tong)必(bi)須(xu)降低其增(zeng)益。其結果是(shi)壹(yi)個(ge)安靜(jing)的(de)平臺，但(dan)需要更長的(de)時間(jian)移(yi)動(dong)回(hui)它(ta)的名義(yi)位置時(shi)，受到幹擾(rao)。這(zhe)將在第(di)5.6節中進壹步討論(lun)。

        獲(huo)得(de)位置伺(si)服(fu)的(de)限(xian)制(zhi)。如(ru)上(shang)所(suo)述(shu)，位置傳感器也(ye)將地面振動(dong)與(yu)有效載(zai)荷耦合。這(zhe)為高度控(kong)制伺(si)服(fu)（如(ru)TMC的PEPS®精密電(dian)子定位系(xi)統(tong)）的(de)統(tong)壹增(zeng)益頻(pin)率設置了(le)實(shi)際(ji)限(xian)制(zhi)。為了避免降低系(xi)統(tong)的(de)隔(ge)振性能(neng)，將脈(mai)沖信號的(de)單(dan)位增(zeng)益頻(pin)率限(xian)制(zhi)在(zai)3 Hz以內(nei)。這(zhe)反(fan)過來限(xian)制(zhi)了(le)它(ta)的低頻(pin)增(zeng)益（它(ta)決定了(le)系(xi)統(tong)在(zai)擾(rao)動(dong)後恢復的(de)速度(du)）。它(ta)的主(zhu)要(yao)優(you)點是(shi)定位更精確（比機械閥(fa)精確100倍），更好(hao)的阻尼(ni)，更好(hao)的高(gao)頻(pin)隔(ge)振，以及使(shi)用前(qian)饋輸入(ru)進行電(dian)子“操縱(zong)”有效載(zai)荷的能(neng)力(li)（稍(shao)後討論(lun)）。它(ta)不(bu)會(hui)提(ti)高有效載(zai)荷升級(ji)的(de)速(su)度。* PEPS還(hai)可以與TMC的(de)PEPS-VX®系(xi)統(tong)相(xiang)結合(he)，該(gai)系(xi)統(tong)使(shi)用慣性載(zai)荷傳感器來(lai)提(ti)高載(zai)荷的振動(dong)水(shui)平。

        結構(gou)共(gong)振。主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統(tong)的(de)另(ling)壹(yi)個(ge)重(zhong)要(yao)問(wen)題(ti)是(shi)有效載(zai)荷中的結構(gou)共(gong)振。這(zhe)些(xie)共(gong)振形成了實(shi)際(ji)的(de)帶寬限(xian)制(zhi)，任(ren)何隔振伺(si)服(fu)使(shi)用慣性傳感器直(zhi)接安裝到有效載(zai)荷。即使(shi)是(shi)壹(yi)個(ge)相(xiang)當剛性的有效載(zai)荷，其第壹次(ci)共(gong)振頻(pin)率也(ye)會在(zai)100-500赫(he)茲的範圍內(nei)。如(ru)果阻尼(ni)良好，這(zhe)是(shi)可以接受(shou)的。然而，在大(da)多數結構(gou)中，它(ta)們不(bu)是(shi)。這(zhe)限(xian)制(zhi)了(le)這(zhe)種(zhong)伺(si)服(fu)器的(de)帶寬在10-40赫(he)茲左(zuo)右。雖(sui)然壹個(ge)定制(zhi)的(de)伺(si)服(fu)系(xi)統(tong)可以做得更好(hao)，壹個(ge)通用的(de)現成的主(zhu)動(dong)消(xiao)振系(xi)統(tong)很(hen)少(shao)做得更好(hao)。

關(guan)於(yu)TMC

      TMC為納米(mi)技(ji)術設計(ji)和(he)制(zhi)造(zao)*的(de)建築地(di)面隔振系(xi)統(tong)。TMC隔離器支持(chi)超精密測(ce)量、儀(yi)器和(he)制(zhi)造(zao)。我(wo)們繼續(xu)領導(dao)於(yu)行業(ye)*的主(zhu)動(dong)、慣性振動(dong)消(xiao)除系(xi)統(tong)，具(ju)有壓電驅(qu)動(dong)器和(he)數(shu)字(zi)控(kong)制器。我(wo)們的無(wu)源產(chan)品(pin)範圍從簡(jian)單的(de)、桌面隔離顯微鏡底座，到幾乎(hu)任(ren)何尺寸(cun)的光(guang)學(xue)表系(xi)統(tong)。
      TMC產品(pin)讓(rang)光(guang)子學(xue)、半(ban)導(dao)體(ti)制(zhi)造(zao)、生命(ming)科學(xue)、藥物發(fa)現(xian)和(he)納(na)米(mi)技(ji)術等(deng)領域的超精密研(yan)究、測(ce)量和(he)制(zhi)造(zao)成為可能(neng)。

森(sen)泉(quan)光(guang)電為TMC中國(guo)區總(zong)代(dai)理。

森泉(quan)為您的科研(yan)事業(ye)添(tian)磚加瓦：

1）  激(ji)光(guang)控(kong)制：激(ji)光(guang)電流(liu)源、激(ji)光(guang)器溫控(kong)器、激(ji)光(guang)器控(kong)制、伺(si)服(fu)設(she)備(bei)與系(xi)統(tong)等(deng)等(deng)

2）  探(tan)測器：光(guang)電探(tan)測器、單(dan)光(guang)子計(ji)數(shu)器、單(dan)光(guang)子探(tan)測器、CCD、光(guang)譜分(fen)析(xi)系(xi)統(tong)等(deng)等(deng)

3）  定位與加工：納(na)米(mi)定位系(xi)統(tong)、微納運動(dong)系(xi)統(tong)、多(duo)維位移(yi)臺、旋轉臺、微型操作器等(deng)等(deng)

4）  光(guang)源：半(ban)導(dao)體(ti)激(ji)光(guang)器、固體(ti)激(ji)光(guang)器、單(dan)頻(pin)激(ji)光(guang)器、單(dan)縱(zong)模(mo)激(ji)光(guang)器、窄(zhai)線(xian)寬激(ji)光(guang)器、光(guang)通訊(xun)波段(duan)激(ji)光(guang)器、CO2激(ji)光(guang)器、中紅外(wai)激(ji)光(guang)器、染料(liao)激(ji)光(guang)器、飛(fei)秒(miao)超快(kuai)激(ji)光(guang)器等(deng)等(deng)

5）  光(guang)機械件：用於(yu)光(guang)路系(xi)統(tong)搭建的高(gao)品(pin)質無(wu)應(ying)力(li)光(guang)機械件，如(ru)光(guang)學(xue)調(tiao)整架、鏡架(jia)、支撐(cheng)桿、固定底(di)座(zuo)等(deng)等(deng)

6）  光(guang)學(xue)平臺：主(zhu)動(dong)隔(ge)振平臺、氣(qi)浮隔(ge)振臺、實(shi)驗(yan)桌、剛性工作(zuo)臺、面包板(ban)、隔(ge)振、隔磁(ci)、隔聲綜合解決方(fang)案等(deng)等(deng)

7）  光(guang)學(xue)元(yuan)件(jian)：各類(lei)晶(jing)體(ti)、光(guang)纖(xian)、偏(pian)轉鏡、反射鏡、透(tou)射(she)鏡、半(ban)透半(ban)反鏡(jing)、濾光(guang)片、衰減(jian)片、玻(bo)片等(deng)等(deng)

8） 染料(liao)：激(ji)光(guang)染料(liao)、熒光(guang)染料(liao)、光(guang)致變色(se)染料(liao)、光(guang)致發光(guang)染料(liao)、吸(xi)收染料(liao)等(deng)等(deng)