TMC光(guang)學(xue)隔振(zhen)平(ping)臺通過(guo)高效(xiao)隔(ge)離環境振(zhen)動，為(wei)高精(jing)度光(guang)學(xue)系統(tong)提(ti)供(gong)穩(wen)定、無擾的工(gong)作(zuo)平(ping)臺，是(shi)確保(bao)實(shi)驗(yan)可重(zhong)復(fu)性(xing)與數據(ju)準(zhun)確性的(de)關(guan)鍵(jian)保(bao)障。深(shen)入了解(jie)
TMC光(guang)學(xue)隔振(zhen)平(ping)臺各組(zu)成(cheng)部件(jian)的(de)功(gong)能特(te)點，是(shi)構(gou)建(jian)穩(wen)固構(gou)造(zao)，駕馭精(jing)密光(guang)學(xue)系統(tong)的(de)前提。
1、臺面
功(gong)能：直接(jie)承載光(guang)學(xue)元件(jian)（如激光(guang)器、反(fan)射(she)鏡(jing)、顯微鏡）、機械支架與(yu)實(shi)驗(yan)裝(zhuang)置(zhi)；
材(cai)質與結(jie)構(gou)：
常(chang)用(yong)花(hua)崗(gang)巖(yan)、不銹(xiu)鋼(gang)或復(fu)合(he)蜂窩板，兼具高剛性(xing)、低熱(re)膨(peng)脹(zhang)系(xi)數(shu)與(yu)良(liang)好(hao)阻尼性能(neng)；
蜂(feng)窩板臺面由(you)上下鋼板與六(liu)角形(xing)蜂窩芯(xin)焊接(jie)而成(cheng)，重(zhong)量輕、抗(kang)彎(wan)強、固(gu)有(you)頻率低；
表(biao)面精(jing)密加工(gong)，布滿(man)M6或1/4"-20螺紋孔陣(zhen)列(lie)，便(bian)於靈(ling)活(huo)安(an)裝(zhuang)光(guang)學(xue)元件(jian)。
2、隔(ge)振支撐(cheng)腿
功(gong)能：連接(jie)臺面與地(di)面，吸收(shou)並衰(shuai)減傳(chuan)遞(di)至(zhi)臺面的振動能(neng)量；
類型與特(te)點：
氣浮隔振腿（主(zhu)流）：
內置(zhi)氣囊或氣室，充(chong)入壓(ya)縮(suo)空(kong)氣形(xing)成(cheng)“氣彈簧”，固(gu)有(you)頻率可(ke)低至(zhi)0.5-2Hz；
配(pei)備(bei)高度調節(jie)閥(fa)，自(zi)動維(wei)持臺面水平(ping)（調平(ping)精(jing)度±0.05°）；
對(dui)中(zhong)高頻振動（>5Hz）隔(ge)離(li)效(xiao)果(guo)優異(yi)。
機械隔(ge)振(zhen)腿：
采用(yong)螺旋(xuan)彈簧或橡膠墊，成(cheng)本低，適(shi)用(yong)於輕載(zai)或低要求(qiu)場景(jing)；
固(gu)有(you)頻率較(jiao)高（3-8Hz），隔振性(xing)能弱(ruo)於氣浮。
3、阻尼系統(tong)
功(gong)能：抑制(zhi)臺面在受擾(rao)後(hou)產(chan)生的(de)自(zi)由(you)振動，快(kuai)速(su)恢復(fu)穩(wen)定狀態(tai)；
實(shi)現(xian)方式：
被動阻(zu)尼：臺面內部填(tian)充(chong)阻(zu)尼材(cai)料（如瀝青、聚(ju)合物(wu)），或使用(yong)粘(zhan)彈性層(ceng)；
主(zhu)動阻(zu)尼：集成(cheng)加速(su)度傳(chuan)感器與作(zuo)動器(qi)，實(shi)時檢(jian)測振動並(bing)施(shi)加反(fan)向(xiang)力抵(di)消(xiao)。
4、氣源(yuan)處理(li)單元
功(gong)能：為(wei)氣浮腿提供(gong)幹燥(zao)、潔凈、壓(ya)力穩(wen)定的壓(ya)縮(suo)空(kong)氣；
組(zu)成(cheng)：
空(kong)氣過濾器：去(qu)除水汽、油霧(wu)與(yu)顆粒物(wu)，防止(zhi)氣路堵塞；
減壓(ya)閥(fa)：將(jiang)高壓(ya)氣源(yuan)降至(zhi)工(gong)作(zuo)壓(ya)力（通常(chang)0.4-0.6MPa）；
儲(chu)氣罐：穩(wen)定氣壓(ya)，減少(shao)波動。
5、水平(ping)調節(jie)系統(tong)
功(gong)能：確保(bao)臺面絕對(dui)水平(ping)，避(bi)免光(guang)學(xue)元件(jian)光(guang)軸(zhou)偏移(yi)；
結(jie)構(gou)：
每(mei)條支撐(cheng)腿配備(bei)精(jing)密調平(ping)螺絲或自動調平(ping)閥(fa)；
內置(zhi)電子水平(ping)儀(yi)，實(shi)時監(jian)測(ce)並(bing)反(fan)饋(kui)調整(zheng)。
6、外圍(wei)接(jie)口與(yu)附(fu)件(jian)
電氣接(jie)口：為(wei)平(ping)臺上的(de)設(she)備(bei)提供(gong)電源(yuan)插座(zuo)或數據(ju)端口；
防(fang)靜電設(she)計：臺面接(jie)地(di)，防(fang)止(zhi)靜電積累損(sun)傷敏感器件(jian)；
側(ce)板與圍(wei)欄(lan)：安(an)裝(zhuang)隔(ge)音罩(zhao)、防塵簾(lian)或安(an)全(quan)防(fang)護(hu)網(wang)。
7、主(zhu)動隔(ge)振(zhen)系統(tong)
功(gong)能：針對(dui)低頻振動（<5Hz）進(jin)行(xing)主(zhu)動補(bu)償(chang)，突破(po)被動隔(ge)振(zhen)的物(wu)理極限(xian)；
原(yuan)理(li)：
加速(su)度傳(chuan)感器實(shi)時監(jian)測(ce)振(zhen)動；
控制(zhi)器計算(suan)反(fan)向(xiang)信(xin)號(hao)；
電磁或壓(ya)電作動器(qi)施(shi)加抵(di)消(xiao)力。
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