產(chan)品(pin)簡介(jie)

Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位(wei)移(yi)臺MAX603D，納(na)米(mi)定位
Thorlabs的(de)NanoMax™ 6軸(zhou)納(na)米(mi)定位撓性位(wei)移(yi)臺非(fei)常適(shi)合(he)光纖(xian)耦(ou)合(he)系(xi)統，或需要(yao)亞(ya)微米(mi)分辨率的應(ying)用。

Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位(wei)移(yi)臺MAX603D，納(na)米(mi)定位

Thorlabs的NanoMax™ 6軸(zhou)納(na)米(mi)定位撓性位(wei)移(yi)臺采(cai)用平行(xing)的撓性設計(ji)確(que)保(bao)精確(que)平(ping)滑(hua)的(de)連續運動，摩擦幾乎可(ke)以(yi)忽略。對於復(fu)雜的(de)多軸(zhou)定位應(ying)用，平行(xing)撓性位(wei)移(yi)臺將(jiang)三(san)個(ge)以(yi)上(shang)自(zi)由度(du)集(ji)成在(zai)單(dan)個(ge)小型裝置中(zhong)，明(ming)顯比按序(xu)堆疊位(wei)移(yi)臺的(de)設計(ji)具(ju)有(you)好的(de)性能。非(fei)常適(shi)合(he)光纖(xian)耦(ou)合(he)系(xi)統，或需要(yao)亞(ya)微米(mi)分辨率的應(ying)用。

同時我(wo)們(men)提(ti)供(gong)帶或(huo)不帶預(yu)配置壓電(dian)驅動器（開(kai)環(huan)/閉環(huan)）、差(cha)分(fen)或步進(jin)電(dian)機(ji)驅動器的(de)版(ban)本(ben)。位(wei)移(yi)臺(tai)的標(biao)稱(cheng)載(zai)物(wu)臺高度(du)為(wei)112.5 mm(4.43英寸(cun))，匹(pi)配高度(du)為(wei)112.5 mm的5軸(zhou)位移(yi)臺套(tao)件(jian)。我(wo)們(men)也(ye)提(ti)供(gong)轉接(jie)板(ban)，用於將(jiang)3軸(zhou)和4軸撓性位(wei)移(yi)臺的載(zai)物(wu)臺高度(du)從(cong)62.5 mm提(ti)升(sheng)到(dao)112.5 mm，從而(er)兼(jian)容我(wo)們(men)的NanoMax™6軸(zhou)位(wei)移臺(tai)。

我(wo)們(men)的6軸(zhou)NanoMax位(wei)移臺(tai)作為功能強大的納(na)米(mi)定位工(gong)具(ju)還有(you)2個(ge)創新(xin)點：壹(yi)是公(gong)共旋轉(zhuan)支點，二是將(jiang)所有(you)調節器(qi)直(zhi)接(jie)耦(ou)合(he)到(dao)底(di)座(zuo)的(de)專有(you)設計(ji)，以(yi)盡(jin)量(liang)減少系(xi)統中(zhong)不必要(yao)的(de)運動。

公(gong)共旋轉(zhuan)點

如(ru)下(xia)圖(tu)所示，每個(ge)NanoMax 6軸位(wei)移臺在(zai)移(yi)動平臺(tai)前都有(you)不銹鋼(gang)探針(zhen)，標(biao)記所有(you)旋轉(zhuan)軸(zhou)的公(gong)共支點。所有(you)旋轉(zhuan)軸(zhou)具有(you)公(gong)共支點，可(ke)以(yi)減(jian)少(shao)系(xi)統的對準時間(jian)，因為(wei)這樣(yang)在(zai)調整θx、θy和θz時不需要(yao)補償(chang)橫(heng)向運動。如(ru)果移(yi)動平臺(tai)開始(shi)平移(yi)，支點也(ye)會相(xiang)對底座(zuo)移(yi)動，保(bao)持(chi)支點和(he)移動平臺(tai)的相(xiang)對位置(zhi)。

可拆(chai)下(xia)的(de)不銹鋼(gang)探針(zhen)頂(ding)部(bu)標(biao)記了所有(you)旋轉(zhuan)軸(zhou)的公(gong)共支點

點P是所有(you)三個(ge)旋轉(zhuan)軸（偏(pian)轉、俯仰和(he)擺動）的公(gong)共支點。

精密(mi)驅動

NanoMax™6軸位(wei)移臺(tai)提(ti)供(gong)預配(pei)置差(cha)分(fen)測微頭(tou)驅動器或(huo)步進(jin)電(dian)機(ji)驅動器的(de)位移(yi)臺(tai)，即開(kai)即用。NanoMax 6軸位(wei)移臺的(de)模塊(kuai)化(hua)設計(ji)允(yun)許在(zai)任何(he)時候(hou)拆卸和更(geng)換(huan)驅動器。驅動器都(dou)直(zhi)接(jie)耦(ou)合(he)到(dao)底(di)座(zuo)，以(yi)盡(jin)量(liang)減少系(xi)統中(zhong)不必要(yao)的(de)運動。這種(zhong)特(te)性非(fei)常適(shi)合(he)需(xu)要(yao)亞(ya)微米(mi)級(ji)分辨率的應(ying)用。對於納(na)米(mi)定位應(ying)用，我(wo)們(men)有(you)內置壓電(dian)驅動器的(de)版(ban)本(ben)包(bao)括開(kai)環(huan)和閉(bi)環(huan)。

壓電(dian)選項(xiang)

開環(huan)或閉(bi)環(huan)的壓(ya)電(dian)選項(xiang)讓這些(xie)位移(yi)臺實現(xian)納(na)米(mi)級(ji)的分(fen)辨率。內置於位(wei)移臺的(de)壓(ya)電(dian)驅動器具(ju)有(you)30 µm的行(xing)程(cheng)，可使用多種(zhong)開(kai)環(huan)或閉(bi)環(huan)壓電(dian)控制(zhi)器控制(zhi)。將(jiang)這些(xie)位移(yi)臺與NanoTrak控制(zhi)器(K-Cube、臺(tai)式(shi)或機(ji)架系統模塊(kuai))耦(ou)合(he)時，系統具有(you)強大的自(zi)對準功能，能夠維(wei)持(chi)光通(tong)量(liang)，並(bing)消(xiao)除(chu)由(you)於熱漂移或其(qi)它(ta)外力(li)引(yin)起的(de)耦(ou)合(he)效(xiao)率(lv)損(sun)耗(hao)。這些(xie)壓電(dian)位移(yi)臺包(bao)含6根(gen)PAA100驅動電(dian)纜(lan)，在(zai)閉(bi)環(huan)系統的情(qing)況下(xia)，包(bao)含6根(gen)PAA622反(fan)饋變換(huan)器電(dian)纜(lan)。

具有(you)開環(huan)壓電(dian)驅動器的(de)位移(yi)臺(tai)沒(mei)有(you)應(ying)變儀位移(yi)傳(chuan)感器，非(fei)常適(shi)合(he)需(xu)要(yao)定位分(fen)辨率低至20 nm的應(ying)用。帶閉(bi)環(huan)壓電(dian)驅動器的(de)版(ban)本(ben)內部(bu)有(you)應(ying)變儀位移(yi)傳(chuan)感器，可提(ti)供(gong)與壓(ya)電(dian)元件(jian)的(de)位(wei)移(yi)呈線(xian)性比例的(de)反(fan)饋電(dian)壓信(xin)號(hao)。這種(zhong)反(fan)饋信(xin)號(hao)將(jiang)分(fen)辨率提(ti)高到(dao)5 nm，可(ke)用於補償(chang)所有(you)壓電(dian)元件(jian)中(zhong)固有(you)的遲滯、蠕(ru)變(bian)和(he)熱漂移，使這些(xie)位移(yi)臺成為需要(yao)納(na)米(mi)級(ji)分辨率應(ying)用的好(hao)的選擇。

請(qing)註(zhu)意，壓電(dian)機(ji)制(zhi)利(li)用與測(ce)微計(ji)驅動器的(de)接(jie)觸來移動頂(ding)部(bu)平(ping)臺。不管出於任何(he)原(yuan)因(yin)，如(ru)果位(wei)移(yi)臺在(zai)拆(chai)除(chu)測(ce)微計(ji)驅動器的(de)情(qing)況下(xia)工(gong)作，必須(xu)在(zai)壓(ya)電(dian)驅動器運行之前安裝盲塞(sai)。

配件(jian)的(de)簡易(yi)對準

我(wo)們(men)提(ti)供(gong)多種(zhong)配(pei)件(jian)來安裝產(chan)品(pin)，比如(ru)顯微物(wu)鏡、準(zhun)直(zhi)器(qi)、波導、光纖(xian)等更(geng)多產(chan)品(pin)。這些(xie)配件(jian)可(ke)以(yi)通(tong)過(guo)中(zhong)心鍵(jian)槽(cao)在(zai)6軸(zhou)位(wei)移臺(tai)的頂(ding)部(bu)平(ping)臺上(shang)輕的松(song)實現(xian)對準。頂(ding)部(bu)平(ping)臺的中(zhong)心鍵(jian)槽(cao)便(bian)於快(kuai)速重新(xin)配(pei)置系(xi)統，同時還能在(zai)整個(ge)實驗(yan)中(zhong)維持(chi)配件(jian)的(de)對準。

Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位(wei)移(yi)臺MAX603D，納(na)米(mi)定位

產(chan)品(pin)特性與(yu)參(can)數(shu)

X軸和(he)Z軸：1 N/µm

Y軸：0.5 N/µm

不帶驅動器

帶步(bu)進電(dian)機(ji)驅動器

帶差(cha)分(fen)驅動器