產品(pin)簡介(jie)

TMC Quiet Island 大型儀器主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統(tong)
采用(yong)STACIS - TMC業界(jie)ling 先(xian)的(de)主(zhu)動(dong)壓(ya)電(dian)消振技(ji)術(shu)、“硬(ying)安裝"設計(ji)和始於(yu)0.6 Hz的(de)隔振與(yu)內(nei)置(zhi)隔振器的(de)工具兼容。
模(mo)塊(kuai)化(hua)、定(ding)制(zhi)和(he)重新定(ding)位(wei)的(de)靈活(huo)性 - 每(mei)個平(ping)臺(tai)都根據客(ke)戶(hu)的(de)應用(yong)量(liang)身定(ding)做(zuo)，但(dan)與混凝(ning)土(tu)平(ping)臺(tai)不同(tong)，如果(guo)工具或地面特性(xing)發生(sheng)變(bian)化(hua)，這(zhe)些平(ping)臺(tai)可(ke)以很容易(yi)地重新進行配(pei)置(zhi)。

TMC Quiet Island 大型儀器主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統(tong)

半(ban)導體制(zhi)造(zao)工廠(chang)、納(na)米(mi)技(ji)術中心、納(na)米(mi)工廠(chang)和其(qi)他(ta)精密(mi)制(zhi)造(zao)和(he)研(yan)究(jiu)中心通(tong)常將(jiang)潔(jie)凈(jing)室(shi)與(yu)活(huo)動(dong)假(jia)地面系統(tong)結(jie)合在(zai)壹起(qi)，以滿足(zu)復(fu)雜的(de)設施(shi)要(yao)求(qiu)（管道(dao)、電(dian)纜、燃(ran)氣(qi)管道(dao)等(deng)）和保持嚴格的(de)清潔標(biao)準。這(zhe)種地面不適(shi)用於(yu)對(dui)振動(dong)敏(min)感的(de)生(sheng)產、檢測和計(ji)量設(she)備(bei)。活(huo)動(dong)地面無法為(wei)這些工具提(ti)供(gong)必(bi)要(yao)的(de)安靜振動(dong)環(huan)境。TMC的(de)Quiet Island用壹個固(gu)定(ding)在(zai)下(xia)面底(di)層地面上(shang)的(de)“安靜島(dao)"替(ti)換壹部分(fen)活(huo)動(dong)地面區(qu)域，提供(gong)了(le)壹種創新(xin)的(de)解決(jue)方(fang)案(an)。Quiet Island包(bao)括(kuo)壹個兼容潔(jie)凈(jing)室(shi)的(de)平(ping)臺(tai)頂部和壹個應(ying)用(yong)和現場(chang)特(te)定(ding)的(de)支撐結(jie)構(gou)。

消振

Quiet Islanddu有的(de)主(zhu)要(yao)支撐元件和(he)核(he)心技(ji)術都集成在STACIS III主(zhu)動(dong)消(xiao)振系(xi)統(tong)中。這種“剛(gang)性"式慣(guan)性(xing)消振支撐系統(tong)是任何振動(dong)敏(min)感型儀器的(de)理(li)想選擇(ze)，它使(shi)此類(lei)工具能(neng)夠在(zai)嘈雜的(de)環(huan)境中以最高(gao)標(biao)準運行。STACIS III兼容自(zi)動(dong)化(hua)晶圓加(jia)工工具、高(gao)分(fen)辨率(lv)電(dian)子(zi)束成像工具、離(li)子(zi)束銑削(xue)工具以及任何帶(dai)有被(bei)動(dong)或主(zhu)動(dong)內(nei)部隔振系(xi)統(tong)的(de)工具。此外(wai)，它還(hai)提供(gong)了(le)最(zui)寬頻率(lv)範(fan)圍內(nei)的(de)最大隔振性(xing)能(neng)。並且“硬安(an)裝"設(she)計(ji)非(fei)常(chang)堅硬，因(yin)此對於(yu)較(jiao)高、上(shang)重下輕(qing)的(de)工具，不會(hui)出現穩(wen)定(ding)性(xing)問(wen)題。

立管(guan)和支架(jia)

用(yong)於(yu)支撐STACIS隔振器的(de)極其(qi)堅固(gu)耐用的(de)立管(guan)由(you)TMC經驗豐(feng)富的(de)工程團隊設(she)計，並(bing)由(you)我們的(de)ISO 9001工廠(chang)按(an)照高(gao)標(biao)準(zhun)和(he)焊(han)接認證規格制(zhi)造(zao)。每(mei)個(ge)Quiet Island都(dou)經過精心設(she)計(ji)，適合各(ge)種活(huo)動(dong)地面高度(du)、底(di)層地面幾何形(xing)狀和工具尺寸。TMC在全(quan)球(qiu)安裝(zhuang)了(le)數(shu)千個(ge)支撐200多種不同(tong)儀器型(xing)號(hao)的(de)裝置(zhi)，擁有豐(feng)富的(de)知識和(he)經驗，可(ke)以設計(ji)滿足(zu)STACIS和(he)您(nin)設(she)施(shi)需(xu)求(qiu)的(de)支撐結(jie)構(gou)。

剛(gang)性平(ping)臺(tai)

該平(ping)臺(tai)由(you)壹個經TMC設計(ji)和(he)制(zhi)造(zao)的(de)4英寸（100毫(hao)米(mi)）厚的(de)鋼板夾層組(zu)成，其中鋼板夾在壹種輕(qing)質(zhi)、不可(ke)壓(ya)縮、阻尼(ni)的(de)芯(xin)材(cai)料(liao)周(zhou)圍(wei)。剛(gang)性鋼板和(he)芯(xin)用(yong)環(huan)氧樹(shu)脂粘(zhan)合到(dao)壹個無(wu)縫不銹(xiu)鋼盤(pan)中的(de)分(fen)層效(xiao)果(guo)提(ti)供(gong)了(le)ji高(gao)的(de)剛(gang)度和結(jie)構(gou)阻尼(ni)。大橫(heng)截(jie)面和鋼(gang)含(han)量產生(sheng)了(le)非(fei)常高的(de)整體剛(gang)度。頂部(bu)和側(ce)面是壹個連(lian)續的(de)壹體式不銹(xiu)鋼外(wai)殼(ke)，以保持清潔、美觀(guan)和(he)完(wan)整性。TMC可(ke)根(gen)據需(xu)要(yao)設(she)計(ji)和(he)制(zhi)造(zao)特(te)定(ding)於(yu)應(ying)用的(de)平(ping)臺(tai)，包括(kuo)切(qie)口、特殊(shu)形狀、固(gu)定(ding)孔(kong)和(he)吊環(huan)螺(luo)栓。

TMC Quiet Island 大型儀器主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統(tong)的(de)優勢

采用(yong)STACIS - TMC業界(jie)ling 先(xian)的(de)主(zhu)動(dong)壓(ya)電(dian)消振技(ji)術(shu)、“硬(ying)安裝"設計(ji)和始於(yu)0.6 Hz的(de)隔振與(yu)內(nei)置(zhi)隔振器的(de)工具兼容。

模(mo)塊(kuai)化(hua)、定(ding)制(zhi)和(he)重新定(ding)位(wei)的(de)靈活(huo)性 - 每(mei)個平(ping)臺(tai)都根據客(ke)戶(hu)的(de)應用(yong)量(liang)身定(ding)做(zuo)，但(dan)與混凝(ning)土(tu)平(ping)臺(tai)不同(tong)，如果(guo)工具或地面特性(xing)發生(sheng)變(bian)化(hua)，這(zhe)些平(ping)臺(tai)可(ke)以很容易(yi)地重新進行配(pei)置(zhi)。

專(zhuan)業知識 - TMC擁有與(yu)世(shi)界ling 先(xian)的(de)半(ban)導體制(zhi)造(zao)商(shang)、科研機構和(he)超精密(mi)OEM合作(zuo)的(de)豐(feng)富經驗。我們了(le)解(jie)客戶及其(qi)需(xu)求(qiu)。我們自己設(she)計和(he)制(zhi)造(zao)。

規格：

有關(guan)隔(ge)振規格，請(qing)參閱STACIS® III。