TMC主(zhu)動(dong)壓電(dian)消(xiao)振SEM-Base VI 用於SEM和(he)FIB，是(shi)專(zhuan)為(wei)掃描(miao)電子顯(xian)微鏡所設計的(de)。掃描(miao)電子顯(xian)微鏡是(shi)振動敏(min)感的儀器，而(er)且這(zhe)些(xie)精(jing)密(mi)儀器都有內置(zhi)的隔振系(xi)統，SEM-Base可以兼容(rong)SEM內部預(yu)裝(zhuang)的(de)振動隔(ge)離(li)系(xi)統。

TMC Stage-Base混(hun)合(he)壓電(dian)電(dian)機(ji)主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統 TMC繼(ji)續在*技(ji)術的基礎上(shang)開發(fa)新(xin)的(de)解(jie)決(jue)方(fang)案(an)，以滿(man)足(zu)半導體工(gong)具(ju)對(dui)其隔振系(xi)統提(ti)出的挑(tiao)戰(zhan)性要求(qiu)。Stage-Base 450是(shi)專(zhuan)為(wei)帶(dai)高(gao)精(jing)度(du)電(dian)動(dong)X-Y平臺(tai)的(de)高(gao)級半導體工(gong)具(ju)而(er)設(she)計(ji)的(de)主(zhu)要(yao)消(xiao)振系(xi)統。

TMC LaserTable-Base混(hun)合(he)壓電(dian)主(zhu)動(dong)隔(ge)振系(xi)統 TMC的STACIS通過結合壓電(dian)致(zhi)動(dong)器和慣性振動傳感器的專(zhuan)有技(ji)術克(ke)服了這(zhe)些(xie)限(xian)制，可消(xiao)除(chu)而(er)不(bu)會放大(da)極低頻振動。LaserTable-Base將(jiang)這(zhe)兩項技(ji)術（空氣(qi)和(he)STACIS）整(zheng)合(he)到(dao)壹(yi)個集成(cheng)的(de)消(xiao)振系(xi)統中(zhong)。由(you)於(yu)兩個串(chuan)聯隔振系(xi)統的綜合效(xiao)應，這(zhe)實現了低頻率消(xiao)振和qian所(suo)wei有的(de)高(gao)頻隔振水(shui)平。

TMC TOOL-Base主(zhu)動(dong)壓電(dian)地(di)面(mian)減振平臺(tai) TOOL-Base是(shi)壹(yi)種(zhong)*的主(zhu)動(dong)壓電(dian)地(di)面(mian)減振平臺(tai)，用於超(chao)精(jing)密(mi)儀器和機械(xie)設備(bei)。 它適用於比(bi)典(dian)型的商(shang)業(ye)掃描(miao)電子顯(xian)微鏡（SEM）更(geng)大(da)或(huo)更(geng)重(zhong)的(de)儀器，而(er)且設(she)備有高(gao)度(du)限(xian)制。 TOOL-Base不局(ju)限於單(dan)壹(yi)的配置，而(er)是(shi)可(ke)以被設計(ji)成(cheng)與工(gong)具(ju)的(de)尺(chi)寸(cun)、腿(tui)的布(bu)局(ju)和高(gao)度(du)要(yao)求(qiu)緊密(mi)匹(pi)配。此(ci)外，它(ta)的容(rong)量可(ke)以(yi)與有效(xiao)載(zai)荷的質量相(xiang)匹(pi)配。

TMC SEM-Base VI 主(zhu)動(dong)壓電(dian)隔(ge)振 硬安裝(zhuang)技(ji)術 - SEM-Base VI與所(suo)有內部SEM振動控(kong)制系(xi)統兼容(rong)，可以從(cong)0.6 Hz開始(shi)主(zhu)動(dong)減(jian)輕低頻地(di)面(mian)振動。 主(zhu)動(dong)慣(guan)性振動消(xiao)除(chu) - SEM-Base VI使用高(gao)靈敏(min)度(du)、低頻慣性速(su)度(du)傳感器，即使在安靜(jing)的地(di)面(mian)上也(ye)能實(shi)現(xian)高(gao)水(shui)平的(de)振動衰(shuai)減。 采(cai)用壓電(dian)技(ji)術的串(chuan)行(xing)設(she)計(ji)

TMC STACIS地(di)面(mian)平臺(tai) 主(zhu)動(dong)壓電(dian)隔(ge)振器 對(dui)於傳統的實驗(yan)室(shi)地(di)面(mian)，隔離(li)高(gao)大(da)工具(ju)的(de)建(jian)築地(di)面(mian)振動是(shi)壹(yi)個人體工(gong)程學(xue)領域的挑(tiao)戰(zhan)。將(jiang)隔振器直接放置在工具(ju)下(xia)方(fang)可(ke)能會將(jiang)工具(ju)擡(tai)高(gao)到(dao)壹(yi)個不切實(shi)際(ji)的(de)高(gao)度(du)。此(ci)外，傳統空氣(qi)隔(ge)振器放置在壹(yi)個較高(gao)、上重下(xia)輕的有效(xiao)載(zai)荷之下時不(bu)穩(wen)定。