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產(chan)品中心光(guang)學(xue)平(ping)臺(tai)主(zhu)動隔振平臺(tai)TMC主(zhu)動壓(ya)電(dian)消(xiao)振SEM-Base VI 用(yong)於SEM和(he)FIB
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TMC主(zhu)動壓(ya)電(dian)消(xiao)振SEM-Base VI 用(yong)於SEM和(he)FIB，是(shi)專(zhuan)為掃描電(dian)子顯微(wei)鏡(jing)所設計的(de)。掃描電(dian)子顯微(wei)鏡(jing)是振動敏感(gan)的(de)儀(yi)器，而且這些精(jing)密儀(yi)器都(dou)有(you)內(nei)置(zhi)的(de)隔振系(xi)統(tong)，SEM-Base可(ke)以兼(jian)容SEM內(nei)部預裝的(de)振動隔離系(xi)統(tong)。
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SEM-Base® VI是(shi)下(xia)壹(yi)代STACIS主(zhu)動壓(ya)電(dian)消(xiao)振產品。SEM-Base VI被(bei)設計用(yong)於支撐所有商(shang)用(yong)掃描電(dian)子顯微(wei)鏡(jing)（SEM）以及(ji)許(xu)多(duo)聚焦離子束(shu)（FIB）和(he)小(xiao)型(xing)雙光(guang)束(shu)儀(yi)器(qi)。SEM-Base VI具(ju)有(you)更(geng)好(hao)的(de)隔振性(xing)能、更(geng)快、更(geng)強大(da)的(de)控(kong)制(zhi)器(qi)和(he)高(gao)級圖(tu)形(xing)用(yong)戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許(xu)多(duo)實(shi)驗室(shi)和(he)設施(shi)達(da)到了滿(man)足工具(ju)制(zhi)造(zao)商(shang)規(gui)格所需(xu)的(de)地面(mian)振動水(shui)平(ping)。
SEM-Base VI采(cai)用(yong)D特的(de)“串行(xing)結構"，其(qi)中(zhong)的(de)振動傳(chuan)感(gan)器(qi)測(ce)量(liang)地面(mian)振動，而不是(shi)有(you)效(xiao)載荷(he)振動。與其(qi)他(ta)設計不同，這確保了有效(xiao)載荷(he)共振不會(hui)限(xian)制(zhi)隔振或造成(cheng)不穩(wen)定(ding)。振動傳(chuan)感(gan)器(qi)是(shi)低頻(pin)慣性(xing)速度傳(chuan)感(gan)器(qi)，在(zai)難(nan)以測(ce)量(liang)的(de)亞Hz範(fan)圍內(nei)具(ju)有(you)最(zui)大(da)靈(ling)敏度。結合我(wo)們(men)D特的(de)壓(ya)電(dian)致(zhi)動器(qi)技(ji)術(shu)，SEM-Base VI即(ji)使在(zai)安靜(jing)的(de)地面(mian)上(shang)也能實現(xian)J高(gao)的(de)消(xiao)振水平。
SEM-Base VI可(ke)提(ti)供(gong)與以前(qian)型(xing)號(hao)平均(jun)高(gao)6 dB的(de)隔振。此外(wai)，TMC的(de)下(xia)壹代控(kong)制(zhi)器(qi)DC-2020采(cai)用(yong)了新的(de)雙核處理(li)器(qi)，為工具(ju)所有者(zhe)和(he)研(yan)究(jiu)人(ren)員提供(gong)了壹(yi)個(ge)非常簡(jian)單(dan)易(yi)用(yong)的(de)圖(tu)形(xing)界面，可(ke)實(shi)現快速系(xi)統(tong)評(ping)估(gu)和(he)安全(quan)操(cao)作。通過(guo)以太網(wang)連(lian)接(jie)時，DC-2020將(jiang)在(zai)用(yong)戶的(de)瀏覽(lan)器中(zhong)創(chuang)建(jian)SEM-Base GUI，無(wu)需(xu)安裝其(qi)他(ta)軟(ruan)件(jian)或(huo)應用(yong)程序(xu)。此外(wai)，用(yong)戶也可以通過(guo)板載菜單(dan)驅(qu)動的(de)液晶(jing)顯示器(qi)（LCD）與控(kong)制(zhi)器(qi)連(lian)接(jie)。
TMC主(zhu)動壓(ya)電(dian)消(xiao)振SEM-Base VI 用(yong)於SEM和(he)FIB
硬(ying)安裝技(ji)術(shu) - SEM-Base VI與所有內(nei)部SEM振動控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)兼(jian)容，可(ke)以從0.6 Hz開(kai)始(shi)主(zhu)動減(jian)輕低頻(pin)地面(mian)振動。
主(zhu)動慣(guan)性(xing)振動消(xiao)除(chu) - SEM-Base VI使用(yong)高(gao)靈(ling)敏度、低(di)頻(pin)慣性(xing)速度傳(chuan)感(gan)器(qi)，即(ji)使在(zai)安靜(jing)的(de)地面(mian)上(shang)也能實現(xian)高(gao)水平(ping)的(de)振動衰(shuai)減(jian)。
采(cai)用(yong)壓電(dian)技(ji)術(shu)的(de)串行(xing)設計 - D特的(de)串行(xing)設計和(he)專(zhuan)有的(de)高(gao)力壓(ya)電(dian)技(ji)術(shu)可(ke)實(shi)現0.6 Hz至(zhi)150 Hz的(de)寬(kuan)主(zhu)動帶(dai)寬(kuan)和(he)從2 Hz開(kai)始(shi)減(jian)振90％的(de)zhuo*yue慣(guan)性(xing)主(zhu)動振動消(xiao)除(chu)性(xing)能。
| 主(zhu)動自由度 | 6 |
| 主(zhu)動帶(dai)寬(kuan) | 0.6 Hz - 100 Hz |
| 被(bei)動固(gu)有(you)頻(pin)率(lv) | 標稱(cheng)值為12 Hz |
| 有效(xiao)的(de)主(zhu)動共振頻(pin)率(lv) | 0.5 Hz |
| 1 Hz時的(de)隔振 | 40% - 70% |
| 2 Hz時的(de)隔振 | 90% |
| ≥3 Hz時的(de)隔振 | 90 - 98% |
| 內(nei)部噪(zao)音 | <0.1 nm RMSd> |
| 工作負載範(fan)圍 | 標準承(cheng)重(zhong)能力：900 - 2,500磅(bang)（408 - 1134千(qian)克(ke)） 高(gao)承重(zhong)能力：2,500 - 3,200磅(bang)（1134 - 1452千(qian)克(ke)） |
| 磁場發(fa)射 4英(ying)寸(cun)（102毫(hao)米(mi)）處 距(ju)離(li)平(ping)臺(tai) | <0.02 μG broadband RMSd> |
| 環(huan)境(jing)和(he)安全(quan) | 符(fu)合(he)CE和(he)RoHS標(biao)準(zhun) |
| 主(zhu)動隔振元件(jian) | 最(zui)小(xiao)承(cheng)重(zhong)能力為3300磅(bang)（1500千(qian)克(ke)）的(de)壓(ya)電(dian)致(zhi)動器(qi)接(jie)收來自高(gao)壓放(fang)大(da)器(qi)的(de)信(xin)號(hao)，其(qi)輸(shu)出(chu)高(gao)達800 VDC。垂(chui)直(zhi)執行(xing)器(qi)支撐隔振的(de)有(you)效(xiao)載荷(he) |
| 被(bei)動隔振元件(jian) | 單(dan)個(ge)硬彈(dan)性(xing)體(ti)（無(wu)需(xu)壓縮(suo)空氣源） |
| 振動傳(chuan)感(gan)器(qi)元(yuan)件(jian) | 向(xiang)下的(de)地震(zhen)檢(jian)波(bo)器(qi)型(xing)慣(guan)性(xing)傳(chuan)感(gan)器(qi)，用(yong)於 測(ce)量(liang)隔振器下方的(de)地面(mian)振動，並(bing) 提(ti)供與振動運(yun)動速度成(cheng)正比(bi)的(de)電(dian)壓(ya) |
| 主(zhu)動反(fan)饋(kui)控(kong)制(zhi)回路 | 在(zai)支撐隔振表(biao)面的(de)彈(dan)簧(huang) 下方測(ce)量(liang)、處(chu)理(li)和(he) 支撐隔離面 |
| 尺寸(cun)（寬(kuan) x 深） | 35.25 x 44.25英(ying)寸(cun) 895 x 1124毫(hao)米(mi) |
| 高(gao)度 | 標(biao)稱(cheng)6.3英(ying)寸(cun)（160毫(hao)米(mi)）， SEM-Base關閉時不會(hui)改變 |
| 工作溫(wen)度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 儲存溫(wen)度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 濕(shi)度 | 80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C |
| 系(xi)統(tong)電(dian)源要(yao)求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符(fu)合(he)CE標準(zhun) |
| 地面(mian)位(wei)移(yi) | <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd> |
| 處(chu)理(li)器(qi) | 150/75 MHz雙核 |
| 采(cai)樣(yang)率(lv) | 10 kHz |
| 模擬輸(shu)出(chu) | 16個(ge)通道 |
| 模擬輸(shu)入(ru) | 16個(ge)通道 |
| 狀態(tai)燈 | 單(dan)個(ge)LED |
| 前面(mian)板端口(kou) | 1個(ge)串行(xing)USB 2.0 1個(ge)串行(xing)Micro-USB 1個(ge)以太網(wang)RJ-45 2個(ge)BNC |
| 用(yong)戶界面 | 前(qian)面(mian)板液晶(jing)顯示屏(ping) 超(chao)級(ji)終端(duan)上(shang)的(de)字(zi)符(fu)菜單(dan) 適用(yong)於Microsoft Windows的(de)擴(kuo)展GUI 嵌(qian)入式(shi)以太網(wang)GUI |
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