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STACIS®III主動隔振(zhen)系(xi)統(tong)主動光學平臺。采用*的慣性振(zhen)動(dong)傳(chuan)感(gan)器，復雜(za)的控制(zhi)算(suan)法，和(he)*的壓(ya)電(dian)致(zhi)動器(qi)。STACIS通過(guo)連(lian)續測量(liang)地板(ban)活(huo)動、擴(kuo)大和(he)收(shou)縮(suo)壓(ya)電(dian)致(zhi)動器(qi)過(guo)濾地板(ban)振(zhen)動(dong)來(lai)進(jin)行(xing)實(shi)時(shi)隔(ge)離振(zhen)動(dong)。
初(chu)被(bei)設計(ji)用於*半(ban)導(dao)體(ti)工(gong)廠的精密顯微(wei)光(guang)刻(ke)、計(ji)量(liang)和(he)檢(jian)測設備(bei)的隔振(zhen)，STACIS現(xian)在(zai)是嘈(cao)雜(za)環境(jing)中(zhong)敏感(gan)儀器(qi)的行(xing)業標(biao)準解決方(fang)案(an)，包括但(dan)不局(ju)限於半(ban)導(dao)體(ti)晶(jing)圓(yuan)廠、失效(xiao)分析實(shi)驗(yan)室(shi)、納(na)米(mi)技術(shu)研(yan)究、納(na)米(mi)加工(gong)設備(bei)

STACIS®III主動隔振(zhen)系(xi)統(tong)主動光學平臺

STACIS®III是*的主動振(zhen)動(dong)隔(ge)離系(xi)統(tong)。采(cai)用*的慣性振(zhen)動(dong)傳(chuan)感(gan)器，復雜(za)的控制(zhi)算(suan)法，和(he)*的壓(ya)電(dian)致(zhi)動器(qi)。STACIS通過(guo)連(lian)續測量(liang)地板(ban)活(huo)動、擴(kuo)大和(he)收(shou)縮(suo)壓(ya)電(dian)致(zhi)動器(qi)過(guo)濾地板(ban)振(zhen)動(dong)來(lai)進(jin)行(xing)實(shi)時(shi)隔(ge)離振(zhen)動(dong)。
初(chu)被(bei)設計(ji)用於*半(ban)導(dao)體(ti)工(gong)廠的精密顯微(wei)光(guang)刻(ke)、計(ji)量(liang)和(he)檢(jian)測設備(bei)的隔振(zhen)，STACIS現(xian)在(zai)是嘈(cao)雜(za)環境(jing)中(zhong)敏感(gan)儀器(qi)的行(xing)業標(biao)準解決方(fang)案(an)，包括但(dan)不局(ju)限於半(ban)導(dao)體(ti)晶(jing)圓(yuan)廠、失效(xiao)分析實(shi)驗(yan)室(shi)、納(na)米(mi)技術(shu)研(yan)究、納(na)米(mi)加工(gong)設備(bei)

Stacis III包括壹個新(xin)型(xing)改進的數字控制(zhi)器(qi)－DC-2020。 它(ta)搭載(zai)全新(xin)高效(xiao)的雙核(he)處(chu)理囂(xiao)， 前(qian)後面(mian)板(ban)上(shang)都配(pei)備(bei)以太網和(he)USB串口，新(xin)型(xing)*控制(zhi)系(xi)統(tong)為(wei)用戶(hu)提(ti)供了(le)壹個現(xian)代 的、 易於使用的圖形(xing)用戶(hu)界(jie)面(mian)（GU幣(bi)。
Stacis III在(zai)世界(jie)各(ge)地有(you)數百(bai)個成(cheng)功安裝(zhuang)案(an)例(li)， 對(dui)於大部(bu)分(fen)振(zhen)動(dong)敏感(gan)儀器(qi)來(lai)說(shuo)都是理想的振(zhen)動(dong)清(qing)除(chu)系(xi)統(tong)。

STACIS®III主動隔振(zhen)系(xi)統(tong)主動光學平臺STACIS相(xiang)比(bi)於氣浮(fu)支(zhi)腿(tui)更加堅固可靠(kao)， 且(qie)不存在(zai)氣(qi)浮(fu)隔(ge)振(zhen)系(xi)統(tong)離不開氣(qi)源(yuan)的局(ju)限 性． 它(ta)元(yuan)氣浮(fu)支(zhi)撐(cheng)， 並且與(yu)主動的氣浮(fu)系(xi)統(tong)不同， STACIS可以放置(zhi)在具有(you)內部(bu)主動空 氣隔(ge)離系(xi)統(tong)的設備(bei)下(xia)面(mian)， 且(qie)兩(liang)個隔(ge)振(zhen)系(xi)統(tong)相(xiang)互兼容．
設計(ji)有(you)*的通信(xin)串口和(he)專(zhuan)有(you)high-force壓(ya)電(dian)技(ji)術(shu)導(dao)致(zhi)其(qi)具有(you)大的主動帶(dai)寬(kuan)0.6赫(he)茲(zi)到150赫茲(zi)， 以(yi)及從(cong)2Hz開始(shi)主動振(zhen)動(dong)消除性能(neng)可達(da)至90%。

性能(neng)級參數：

應用案例(li)：