產品(pin)簡介(jie)

TMC Stage-Base混(hun)合(he)壓電電機主(zhu)動(dong)隔(ge)振系統
TMC繼(ji)續(xu)在*技(ji)術的(de)基礎(chu)上開發新(xin)的(de)解決方案，以(yi)滿足(zu)半導體工(gong)具對(dui)其(qi)隔(ge)振(zhen)系統提出(chu)的挑戰性要求。Stage-Base 450是(shi)專為帶(dai)高精(jing)度電動X-Y平(ping)臺(tai)的(de)高級半導體工(gong)具而(er)設(she)計的(de)主(zhu)要消(xiao)振系統。

TMC Stage-Base混(hun)合(he)壓電電機主(zhu)動(dong)隔(ge)振系統

TMC繼(ji)續(xu)在*技(ji)術的(de)基礎(chu)上開發新(xin)的(de)解決方案，以(yi)滿足(zu)半導體工(gong)具對(dui)其(qi)隔(ge)振(zhen)系統提出(chu)的挑戰性要求。Stage-Base 450是(shi)專為帶(dai)高精(jing)度電動X-Y平(ping)臺(tai)的(de)高級半導體工(gong)具而(er)設(she)計的(de)主(zhu)要消(xiao)振系統。這(zhe)些工具不(bu)但(dan)需要極(ji)其有(you)效(xiao)的(de)消振(zhen)性能，它(ta)們(men)還要求由平(ping)臺(tai)引(yin)起(qi)的(de)有(you)效(xiao)載(zai)荷運動(dong)能夠非常(chang)快(kuai)速地穩定(ding)，以(yi)最大限度地提高工具(ju)吞吐量。通(tong)過(guo)增(zeng)加(jia)帶(dai)有前(qian)饋控(kong)制(zhi)的VCM，可(ke)以(yi)縮(suo)短(duan)穩定(ding)時間，進壹(yi)步提(ti)高吞(tun)吐量，從而(er)為移動(dong)平(ping)臺(tai)應用(yong)提供zui先jin的主動(dong)振(zhen)動(dong)和(he)運動(dong)消除系統。

優點(dian)：

Stage-Base 450采用了下(xia)壹(yi)代主動(dong)硬安(an)裝壓電消振(zhen)集成音圈技(ji)術。只有TMC可(ke)以(yi)提供(gong)這(zhe)種特別(bie)的(de)高級低頻消振(zhen)串(chuan)行型技(ji)術，通(tong)過(guo)使(shi)用音圈電機（VCM），實(shi)現了主(zhu)動移動(dong)平(ping)臺(tai)運動(dong)消除。

Stage-Base 450下(xia)壹(yi)代主動(dong)控(kong)制(zhi)系統采用TMC的(de)STACIS技(ji)術，使(shi)用(yong)壓電致動器和(he)串行式架(jia)構(gou)中的剛(gang)性懸(xuan)架(jia)實現了zhuo越(yue)的消(xiao)振(zhen)。這(zhe)實現了始於(yu)0.6 Hz的業(ye)內(nei)最佳(jia)地(di)面(mian)隔(ge)振(zhen)，響應於(yu)平(ping)臺(tai)力(li)的(de)初始偏轉明顯更小。

規格：

采用特(te)別的(de)STACIS®技(ji)術

采用高(gao)力(li)、加(jia)長行程(cheng)的(de)壓電致動器

有效(xiao)載(zai)荷的(de)位置可(ke)重(zhong)復性(xing)在微(wei)米以(yi)內(nei)

框架(jia)安裝設(she)計(ji)

6個主動自由度

可(ke)選的(de)VCM前(qian)饋和(he)/或反饋

始於(yu)0.6 Hz的主(zhu)動隔(ge)振

響應平(ping)臺(tai)運動(dong)的快速(su)穩定(ding)時間

無軟(ruan)空氣懸(xuan)架(jia)

通(tong)過(guo)USB 2.0實(shi)現基於PC的(de)圖形(xing)用戶界(jie)面（GUI）的(de)高速(su)數字控(kong)制(zhi)器

簡單、堅(jian)固且(qie)經(jing)濟(ji)高效(xiao)

TMC Stage-Base混(hun)合(he)壓電電機主(zhu)動(dong)隔(ge)振系統