TMC Quiet Island 大型(xing)儀器主(zhu)動(dong)隔(ge)振系統(tong) 采用(yong)STACIS - TMC業(ye)界ling 先的(de)主(zhu)動(dong)壓電消振技(ji)術(shu)、“硬安(an)裝(zhuang)”設(she)計(ji)和(he)始於(yu)0.6 Hz的(de)隔(ge)振與內置(zhi)隔(ge)振器(qi)的(de)工(gong)具兼(jian)容(rong)。 模(mo)塊(kuai)化(hua)、定(ding)制和重(zhong)新(xin)定(ding)位(wei)的靈(ling)活性 - 每(mei)個平臺都(dou)根據(ju)客(ke)戶(hu)的應用量身定(ding)做，但(dan)與混凝土(tu)平臺不同(tong)，如(ru)果(guo)工(gong)具或地面(mian)特(te)性發(fa)生(sheng)變化(hua)，這些(xie)平(ping)臺可(ke)以(yi)很容(rong)易(yi)地重新(xin)進行配(pei)置(zhi)。

TMC STACIS IIIc 緊(jin)湊型(xing)有源壓電 主(zhu)動(dong)隔(ge)振 STACIS IIIc 是(shi)我們(men)STACIS III 有源壓電振動(dong)消除系統(tong)的緊(jin)湊型(xing)版本。它以(yi)較(jiao)低(di)的(de)高(gao)度提(ti)供(gong)同樣(yang)出色(se)的(de)隔(ge)振性能。 STACIS IIIc 非常(chang)適(shi)合(he)沒有(you)活(huo)動(dong)地板或活動地板非常(chang)低(di)的(de)情況(kuang)，在(zai)這種(zhong)情(qing)況(kuang)下，標準 STACIS III 系統(tong)的高(gao)度會(hui)使(shi)儀器過(guo)高(gao)。

TMC臺式(shi)主(zhu)動(dong)隔(ge)振平(ping)臺采用(yong)地音(yin)探(tan)測速度傳(chuan)感器達(da)到亞(ya)赫茲的(de)低(di)頻性能，其低(di)頻靈敏度要優(you)於(yu)加(jia)速(su)度(du)計(ji)。

主(zhu)動(dong)隔(ge)振平(ping)臺采用(yong)串聯式主(zhu)動(dong)系統(tong)結構的(de)臺式(shi)振動(dong)消除系統(tong)，再加(jia)上(shang)用於(yu)提(ti)升亞(ya)赫茲靈(ling)敏度(du)的(de)速(su)度(du)傳(chuan)感器，可(ke)以(yi)使(shi)低(di)頻振動(dong)得(de)到大(da)幅衰減。

STACIS®III主(zhu)動(dong)隔(ge)振系統(tong)主(zhu)動(dong)光學平(ping)臺。采用(yong)*的(de)慣(guan)性振動(dong)傳(chuan)感器，復(fu)雜的(de)控制算法，和(he)*的(de)壓電致動(dong)器(qi)。STACIS通過(guo)連(lian)續測量地板活動、擴大(da)和(he)收(shou)縮壓電致動(dong)器(qi)過(guo)濾(lv)地板振動(dong)來進行實(shi)時(shi)隔(ge)離振動(dong)。 初被(bei)設(she)計(ji)用(yong)於(yu)*半(ban)導體工(gong)廠的(de)精(jing)密(mi)顯微(wei)光刻(ke)、計(ji)量和檢(jian)測設備的隔(ge)振，STACIS現(xian)在(zai)是嘈(cao)雜環(huan)境中(zhong)敏感(gan)儀(yi)器(qi)的行業(ye)標準解決(jue)方案，包括但(dan)不局(ju)限於半(ban)導體晶(jing)圓廠(chang)、失(shi)效分(fen)析(xi)實(shi)驗(yan)室、納米(mi)技(ji)術(shu)研究、納米(mi)加(jia)工(gong)設備(bei)