TMC主(zhu)動壓電消振SEM-Base VI 用於(yu)SEM和(he)FIB，是(shi)專(zhuan)為(wei)掃描電(dian)子顯微(wei)鏡(jing)所設(she)計(ji)的。掃描電(dian)子顯微(wei)鏡(jing)是(shi)振動敏感的儀(yi)器(qi)，而(er)且(qie)這(zhe)些精(jing)密(mi)儀(yi)器(qi)都(dou)有內置(zhi)的隔(ge)振系(xi)統，SEM-Base可(ke)以兼容SEM內部預裝的振動隔離系(xi)統。

TMC Stage-Base混(hun)合(he)壓(ya)電(dian)電(dian)機主動隔振系(xi)統 TMC繼(ji)續在*技(ji)術的基礎(chu)上(shang)開發(fa)新(xin)的解決(jue)方案(an)，以(yi)滿(man)足(zu)半導(dao)體工(gong)具(ju)對其隔振系(xi)統提(ti)出的挑戰(zhan)性要(yao)求(qiu)。Stage-Base 450是(shi)專(zhuan)為(wei)帶(dai)高(gao)精(jing)度電(dian)動X-Y平臺的高(gao)級(ji)半導(dao)體工(gong)具(ju)而(er)設(she)計(ji)的主(zhu)要(yao)消振系(xi)統。

TMC LaserTable-Base混(hun)合(he)壓(ya)電(dian)主(zhu)動隔振系(xi)統 TMC的STACIS通(tong)過結(jie)合(he)壓(ya)電(dian)致動器和(he)慣性振動傳(chuan)感器的專(zhuan)有技術克服(fu)了(le)這(zhe)些限(xian)制(zhi)，可消除(chu)而(er)不(bu)會放大極低頻(pin)振動。LaserTable-Base將(jiang)這(zhe)兩(liang)項(xiang)技術（空氣和(he)STACIS）整(zheng)合(he)到(dao)壹個(ge)集成的消振系(xi)統中(zhong)。由於(yu)兩(liang)個(ge)串聯隔振系(xi)統的綜(zong)合(he)效應，這(zhe)實現(xian)了(le)低頻(pin)率消振和(he)qian所wei有的高(gao)頻(pin)隔振水(shui)平(ping)。

TMC TOOL-Base主動壓電地(di)面(mian)減(jian)振平臺 TOOL-Base是(shi)壹(yi)種(zhong)*的主(zhu)動壓電地(di)面(mian)減(jian)振平臺，用於(yu)超(chao)精密(mi)儀(yi)器(qi)和(he)機(ji)械設(she)備(bei)。 它適用(yong)於(yu)比典(dian)型的商(shang)業(ye)掃描電(dian)子顯微(wei)鏡(jing)（SEM）更大或更重(zhong)的儀(yi)器(qi)，而(er)且(qie)設(she)備(bei)有高(gao)度(du)限制(zhi)。 TOOL-Base不局(ju)限於(yu)單壹(yi)的配(pei)置(zhi)，而(er)是(shi)可(ke)以(yi)被設(she)計(ji)成與(yu)工(gong)具(ju)的尺寸(cun)、腿(tui)的布局(ju)和(he)高(gao)度(du)要(yao)求(qiu)緊(jin)密匹配。此外，它的容(rong)量(liang)可以與(yu)有效載荷的質量相匹配。

TMC SEM-Base VI 主動壓電隔(ge)振 硬(ying)安裝技術 - SEM-Base VI與(yu)所有內部SEM振動控制(zhi)系(xi)統兼(jian)容，可以從0.6 Hz開始(shi)主(zhu)動減(jian)輕低頻(pin)地面(mian)振動。 主動慣性振動消除(chu) - SEM-Base VI使用高(gao)靈(ling)敏度、低頻(pin)慣性速度(du)傳(chuan)感器，即使(shi)在(zai)安靜的地(di)面(mian)上(shang)也能(neng)實(shi)現(xian)高(gao)水(shui)平(ping)的振動衰減(jian)。 采用(yong)壓電(dian)技(ji)術(shu)的串(chuan)行(xing)設(she)計(ji)

TMC STACIS地面(mian)平臺 主動壓電隔(ge)振器 對於(yu)傳(chuan)統的實(shi)驗(yan)室地(di)面(mian)，隔離高(gao)大工(gong)具(ju)的建築(zhu)地(di)面(mian)振動是(shi)壹(yi)個(ge)人體工(gong)程(cheng)學(xue)領(ling)域的挑戰(zhan)。將(jiang)隔(ge)振器直(zhi)接(jie)放(fang)置(zhi)在工(gong)具(ju)下方可能會將(jiang)工(gong)具(ju)擡高(gao)到(dao)壹個(ge)不切實(shi)際(ji)的高(gao)度(du)。此外，傳(chuan)統空氣隔振器放置(zhi)在壹(yi)個(ge)較(jiao)高(gao)、上(shang)重(zhong)下輕的有效載荷之(zhi)下時(shi)不穩(wen)定(ding)。