產(chan)品簡介

TMC STACIS 4主動(dong)隔振(zhen)系統

STACIS®4是(shi)最(zui)xj的主動(dong)隔振(zhen)系統。它裝有(you)慣(guan)性振動(dong)傳感(gan)器，配合精(jing)準的控制算法(fa)與(yu)先j的壓(ya)電(dian)作動(dong)器。STACIS 4可(ke)實時(shi)偵測地(di)面(mian)振(zhen)動(dong)，再(zai)憑(ping)借(jie)壓(ya)電(dian)作動(dong)器的(de)收(shou)縮或(huo)膨(peng)脹即刻消除地(di)面(mian)振(zhen)動(dong)。全新的STACIS 4建(jian)立(li)在(zai)我(wo)們成(cheng)熟(shu)的(de)STACIS技(ji)術(shu)基(ji)礎上(shang)，該技(ji)術(shu)被(bei)全球(qiu)shi大半(ban)導(dao)體(ti)制(zhi)造(zao)商(shang)中(zhong)的九(jiu)家(jia)所(suo)使用。

TMC STACIS 4主動(dong)隔振(zhen)系統

產(chan)品概(gai)述(shu)

STACIS®4是(shi)**的(de)主動(dong)隔振(zhen)系統。它裝有(you)慣(guan)性振動(dong)傳感(gan)器，配合準確(que)的(de)控制算法(fa)與(yu)*的壓(ya)電(dian)作動(dong)器。STACIS 4可(ke)實時(shi)偵測地(di)面(mian)振(zhen)動(dong)再(zai)憑(ping)借(jie)壓(ya)電(dian)作動(dong)器的(de)收(shou)縮或(huo)膨(peng)脹即刻消除地(di)面(mian)振(zhen)動(dong)。全新的STACIS 4建(jian)立(li)在(zai)我(wo)們成(cheng)熟(shu)的(de)STACIS技(ji)術(shu)基(ji)礎上(shang)，該技(ji)術(shu)被(bei)全Q十個大半(ban)導(dao)體(ti)制(zhi)造(zao)商(shang)中(zhong)的九(jiu)家(jia)所(suo)使用。

起初(chu)STACIS是(shi)為半導(dao)體(ti)工廠(chang)的(de)精(jing)密光(guang)刻(ke)機，計(ji)量(liang)儀和檢(jian)測設備而(er)設計(ji)，如(ru)今(jin)是(shi)嘈(cao)雜環(huan)境中(zhong)z敏感(gan)儀器的行業(ye)標準隔振(zhen)解決(jue)方案(an)，包括但(dan)不(bu)限(xian)於故(gu)障(zhang)分(fen)析，納(na)米技術(shu)研(yan)究(jiu)，納(na)米制造(zao)，結構生物學(xue)和材料研(yan)究(jiu)等(deng)應用。
STACIS 4包括新(xin)改(gai)進的(de)，低(di)噪(zao)聲的數(shu)字(zi)控制器，DC-2020帶有雙核處(chu)理器(qi)。這(zhe)種(zhong)新的控制系統為使用(yong)者(zhe)提(ti)供(gong)了(le)壹個易(yi)用的圖(tu)形(xing)用(yong)戶界(jie)面(mian)(GUI)。

STACIS 4建(jian)立(li)在(zai)前幾代的成(cheng)功(gong)架(jia)構上(shang)，增(zeng)加(jia)了(le)*的控制算法(fa)和新(xin)的(de)專(zhuan)有(you)技術(shu)。以前無法(fa)實現(xian)對建(jian)築(zhu)物地(di)面(mian)所(suo)有頻率(lv)的振(zhen)動(dong)消除，但(dan)特別是(shi)10Hz以(yi)下的振動(dong)，對高分(fen)辨率成(cheng)像和計(ji)量(liang)來說(shuo)*敏感(gan)的。當與(yu)FloorSense™技術(shu)相結合時，STACIS 4在2Hz時可(ke)減(jian)少60 dB的(de)建(jian)築(zhu)物地(di)面(mian)振(zhen)動(dong)，在1Hz時(shi)可(ke)減(jian)少27dB。

TMCS TACIS 4主動(dong)隔振(zhen)系統，用於半(ban)導(dao)體(ti)隔(ge)振(zhen)

產(chan)品優點：

STACIS 4相比(bi)於(yu)氣(qi)浮(fu)支(zhi)腿更(geng)加(jia)堅(jian)固(gu)可(ke)靠(kao)，且(qie)不(bu)存在氣(qi)浮(fu)隔(ge)振系統離不(bu)開氣(qi)源的局(ju)限(xian)性。它(ta)無氣(qi)浮(fu)支(zhi)撐，並且(qie)與主動(dong)的氣(qi)浮(fu)系統不(bu)同。STACIS 4可(ke)以(yi)放置(zhi)在(zai)具有內(nei)部(bu)主動(dong)空氣(qi)隔離系統的設備下面(mian)，且(qie)兩個隔振(zhen)系統相互兼(jian)容(rong)。
     特別的串(chuan)聯(lian)設計(ji)和專(zhuan)有(you)的壓(ya)電(dian)技(ji)術(shu)所(suo)產(chan)生0.2 Hz至(zhi)150 Hz的寬(kuan)帶隔離，在2Hz時(shi)可(ke)減(jian)少99.9%的(de)振(zhen)動(dong)。
     比STACIS III更(geng)好(hao)的(de)振動(dong)控制，與行業(ye)標準解決(jue)方案(an)相(xiang)比(bi)，STACIS 4將(jiang)2 Hz的(de)振動(dong)控制提高了(le)60 dB以上。
     穩(wen)定(ding)的串(chuan)聯(lian)設計(ji)允(yun)許使得您安裝(zhuang)後即可(ke)，無需再(zai)次(ci)安裝(zhuang)調(tiao)試，不(bu)像(xiang)並行(xing)式設計(ji)本質(zhi)上是(shi)不(bu)穩(wen)定(ding)的，需要(yao)頻繁(fan)調(tiao)整(zheng)以(yi)保(bao)持峰(feng)值(zhi)性能。此(ci)外(wai)，STACIS 4允(yun)許兩級振動(dong)控制設計(ji)，可(ke)以(yi)在STACIS III系統之上(shang)結合被(bei)動(dong)或主動(dong)的平(ping)行平(ping)臺(tai)。隨(sui)著(zhe)對儀器的振動(dong)分(fen)辨率的(de)要(yao)求越(yue)來(lai)越(yue)高，兩級(ji)設計(ji)正(zheng)變(bian)得(de)越(yue)來(lai)越(yue)普遍。
     STACIS 4的(de)性(xing)能相(xiang)當於(yu)在穩定(ding)的地(di)面(mian)上(shang)減(jian)少5個VC曲(qu)線(xian)的(de)振(zhen)動(dong)。這(zhe)種(zhong)性能使(shi)用(yong)戶(hu)能夠靈(ling)活(huo)地(di)在(zai)不(bu)理(li)想的(de)振動(dong)環境中(zhong)安裝(zhuang)儀器，從而在設施布(bu)局(ju)和設計(ji)方面(mian)具有更(geng)大(da)的(de)適(shi)配性。

產(chan)品規格

應用案例(li)：

TMC STACIS 4主動(dong)隔振(zhen)系統

森泉(quan)為您的(de)科(ke)研(yan)事(shi)業(ye)添(tian)磚加瓦(wa)：

激光(guang)控制：激光(guang)電(dian)流(liu)源、激光(guang)器(qi)溫控器、激光(guang)器(qi)控制、伺(si)服設備與(yu)系統等(deng)等(deng)

探(tan)測器：光(guang)電(dian)探測器、單光(guang)子(zi)計(ji)數(shu)器(qi)、單光(guang)子(zi)探測器、CCD、光(guang)譜(pu)分(fen)析系統等(deng)等(deng)

定(ding)位(wei)與加工：納(na)米定(ding)位(wei)系統、微納(na)運(yun)動(dong)系統、多維位(wei)移(yi)臺(tai)、旋(xuan)轉(zhuan)臺(tai)、微(wei)型(xing)操(cao)作器等(deng)等(deng)

光(guang)源：半導體(ti)激光(guang)器(qi)、固(gu)體(ti)激光(guang)器(qi)、單頻激光(guang)器(qi)、單縱模(mo)激光(guang)器(qi)、窄線寬(kuan)激光(guang)器(qi)、光(guang)通(tong)訊(xun)波(bo)段(duan)激光(guang)器(qi)、CO2激光(guang)器(qi)、中(zhong)紅外(wai)激光(guang)器(qi)、染料激光(guang)器(qi)、飛秒(miao)超(chao)快激光(guang)器(qi)等(deng)等(deng)

光(guang)機(ji)械件：用於(yu)光(guang)路系統搭(da)建(jian)的(de) gao 品 zhi 無應力光(guang)機(ji)械件，如光(guang)學(xue)調(tiao)整(zheng)架(jia)、鏡(jing)架、支撐桿(gan)、固(gu)定(ding)底座等(deng)等(deng)

光(guang)學(xue)平(ping)臺(tai)：主動(dong)隔振(zhen)平臺(tai)、氣(qi)浮(fu)隔(ge)振臺(tai)、實驗(yan)桌、剛性工作臺(tai)、面(mian)包板、隔(ge)振(zhen)、隔(ge)磁、隔聲綜(zong)合解決(jue)方案(an)等(deng)等(deng)

光(guang)學(xue)元(yuan)件：各類晶(jing)體(ti)、光(guang)纖(xian)、偏(pian)轉(zhuan)鏡、反(fan)射(she)鏡(jing)、透射(she)鏡(jing)、半透半反(fan)鏡、濾(lv)光(guang)片(pian)、衰減片、玻片(pian)等(deng)等(deng)

染料：激光(guang)染料、熒(ying)光(guang)染料、光(guang)致(zhi)變(bian)色(se)染料、光(guang)致(zhi)發光(guang)染料、吸(xi)收(shou)染料等(deng)等(deng)